真空 ›› 2019, Vol. 56 ›› Issue (6): 27-29.doi: 10.13385/j.cnki.vacuum.2019.06.05
邢银龙1,2, 吴杰峰1, 刘志宏1, 李波1, 周能涛1
XING Yin-long1,2, WU Jie-feng1, LIU Zhi-hong1, BO Li1, ZHOU Neng-tao1
摘要: 第三代同步辐射光源在不同位置需要设计不同形状的真空腔体保证电子束在超高真空(<1.3×10-8Pa)环境下运行。其中异型真空腔体作为第三代同步辐射装置的关键部件之一其制造过程中非常关键问题就是材料的表面处理。然而,针对316LN异型真空盒超高真空的表面处理工艺国内外还没有公开的发表过,对于316LN异型真空盒超高真空的表面处理工艺的研究工作也鲜有报道。因此,本文针对316LN异型真空盒超高真空表面处理工艺提出合理的工艺方案,针对316LN异型真空盒的表面处理工艺设计并组建一套完整的四极质谱残余气体检测分析系统,为316LN异型真空盒超高真空表明处理的研究提供理论依据。
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[1] 毕拉力·木乎提江, 阿力甫江·扎依提. 同步辐射光源及其特点[J]. 新疆师范大学学报, 2015,35(4):53-54. [2] 杨宏. BEPCⅡ储存环真空盒的焊接[J]. 电焊机, 2007,37(1):66-69. [3] 徐福兴,杨凯,等. 四极杆电极系统的应用与研究进展[J]. 质谱学报, 2015,36(6):482-484. [4] 赵向阳. 奥氏体不锈钢设备的化学清洗和钝化[J]. 清洗世界, 2007,23(5):17-18. [5] Walter Umrath.Fundamental of Vacuum Technology. 2007. [6] 董海义,李琦,等. BEPCII 储存环真空系统性能[J]. 真空, 2008,45(4):30-31. [7] 吕振华. 水基金属清洗剂的技术研究进展[J].新材料与新技术,2018,44(8):67. [8] 杨振龙.机械加工之清洗工艺浅探[J].青海教育, 2018,11-12:39. [9] 冯志良,赵金玉,等. 电真空器件烘烤排气过程中残余气体质谱分析[J]. 真空科学与技术学报, 2014,34(4):326-328. [10] 成永军,李得天,等. 超高真空校准室内残余气体的成分分析[J]. 真空科学与技术学报, 2010,30(1):57-58. |
[1] | 王博锋 , 胡旭华 , 周冠丽 , 李宏宇 , 周健勇 , 王小霞 , 张兆传 . 微波管电子枪真空除气系统设计[J]. 真空, 2019, 56(1): 6-10. |
[2] | 李得天, 成永军, 张虎忠, 孙雯君, 王永军, 孙 健, 李 刚, 裴晓强. 碳纳米管场发射阴极制备及其应用研究[J]. 真空, 2018, 55(5): 1-9. |
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