摘要： 本文主要介绍了全玻璃真空集热管镀膜设备的发展历程,重点描述了集热管镀膜设备发展过程中的重大改进,以及镀膜设备提高生产效率和节能降耗的方法,对其他行业镀膜设备的发展和改进有一定的借鉴意义。
中图分类号:
| [1] 殷志强. 溅射太阳能选择性吸收涂层:CN 85100142A[P].1986-07-23. [2] 殷志强. 渐变Al-N / Al 太阳选择性吸收表面[J].真空科学与技术, 1988,8(3):141-150. [3] 章其初. 太阳能选择性吸收表面涂层:CN 1159553A[P].1997-09-17. [4] 李德坚. 全玻璃真空集热管及其太阳热水器在中国发展回顾[J].太阳能, 2013(4):27-29,37. [5] 郑世民. 铝—氮/铝选择性吸收涂层溅射镀膜机的诞生与发展[J].太阳能,1997(2):27-28. [6] 殷志强. 溅射光谱选择性吸收表面的进一步改善[J]. 太阳能学报,1986(3):27-35. [7] 章其初. 全玻璃SS- AlN 金属陶瓷真空太阳集热管[J].真空, 2010,47(4):27-31. [8] 陈志涛. 通过防护处理的磁控溅射圆柱靶:20082012. 3702.9.[P].2009-09-16. [9] 王光华. 三靶多支太阳能集热管镀膜机: ZL20092001. 2190.3.[P]. [10] 章其初. 太阳能集热管真空磁控溅射连续镀膜线系统:CN101086059A[P].2007-12-12. [11] 池华敬. 高性能SS-AlN 金属陶瓷真空太阳集热管的制备[J].真空, 2012,49(2):56-60. |
| [1] | 张以忱. 第二十讲 真空离子镀膜[J]. 真空, 2020, 57(1): 94-96. |
| [2] | 王忠连, 任少鹏, 阴晓俊, 王瑞生, 高鹏, 班超, 胡雯雯. 波长渐变滤光片的设计与测试探讨[J]. 真空, 2020, 57(1): 21-25. |
| [3] | 吴厚朴, 田钦文, 田修波, 巩春志. 新型双极性高功率脉冲磁控溅射电源及放电特性研究*[J]. 真空, 2019, 56(6): 1-6. |
| [4] | 张以忱. 第二十讲 真空离子镀膜[J]. 真空, 2019, 56(6): 85-86. |
| [5] | 李昊, 王东伟, 张川, 刘婵, 黄美东. 电弧离子镀Cr/CrN多层膜的耐腐蚀性研究[J]. 真空, 2019, 56(3): 21-26. |
| [6] | 张以忱. 第二十讲 真空离子镀膜[J]. 真空, 2019, 56(3): 78-80. |
| [7] | 李建, 童洪辉, 但敏, 金凡亚, 王坤, 陈伦江. 场致发射电子源的应用及其研究进展[J]. 真空, 2019, 56(3): 27-31. |
| [8] | 赵陨, 穆佳丽, 李明华, 李文龙, 姚春龙. 基于QFD和DOE的反光镜膜层表面缺陷改进研究[J]. 真空, 2019, 56(3): 32-36. |
| [9] | 李如永, 段苹, 崔敏, 王吉有, 原安娟, 邓金祥. 后退火对射频磁控溅射法制备Mg掺杂Ga2O3薄膜性质的影响[J]. 真空, 2019, 56(3): 37-40. |
| [10] | 张粉利, 王杰峰, 邓敬莲, 孙会芳. 具有自洁功能增透膜在太阳能集热管中的应用[J]. 真空, 2019, 56(3): 41-43. |
| [11] | 张以忱. 第二十讲 真空离子镀膜[J]. 真空, 2019, 56(2): 78-80. |
| [12] | 刘婵, 王东伟, 李晓敏, 武英桐, 黄美东. 脉冲负偏压对直流磁控溅射碳膜结构和性能的影响[J]. 真空, 2019, 56(2): 69-73. |
| [13] | 仲召进 , 曹 欣 , 高 强 , 韩 娜 , 崔介东 , 石丽芬 , 姚婷婷 , 马立云, 彭 寿. 射频溅射功率对室温沉积 AZO 薄膜性能的影响[J]. 真空, 2019, 56(1): 45-48. |
| [14] | 王福贞 , 陈大民 , 颜远全 . 弧光放电氩离子清洗源[J]. 真空, 2019, 56(1): 27-33. |
| [15] | 徐均琪 , 李候俊 , 李 绵 , 王 建 , 苏俊宏 , 基玛·格拉索夫 . 热蒸发沉积 TiO2 薄膜的光学及激光损伤特性[J]. 真空, 2019, 56(1): 39-44. |
|