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真空 ›› 2022, Vol. 59 ›› Issue (2): 42-47.doi: 10.13385/j.cnki.vacuum.2022.02.09

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集成电路制造用制冷机低温泵发展现状

冯欣宇1,2, 杨杨1   

  1. 1.安徽万瑞冷电科技有限公司,安徽 合肥 230088;
    2.中国电子科技集团公司第十六研究所,安徽 合肥 230088
  • 收稿日期:2021-02-07 出版日期:2022-03-25 发布日期:2022-04-14
  • 作者简介:冯欣宇（1982-）,男,山西省大同市人,高级工程师。

Current Status of Refrigerator Cryopump for IC Manufacturing

FENG Xin-yu1,2, YANG yang1   

  1. 1. Vacree Technologies Co., Ltd., Hefei 230088, China;
    2. The 16th Research Institute of China Electronics Technology Group Corporation, Hefei 230088, China
  • Received:2021-02-07 Online:2022-03-25 Published:2022-04-14

摘要： 以GM制冷机为核心部件的低温泵是一种超高真空获得设备,凭借其自身的特点与优势,已广泛应用于集成电路制造工艺与设备中。近年来,中国集成电路制造装备及成套工艺快速发展,作为重要零部件的低温泵需求量也随之增大。介绍了国内集成电路制造中进口低温泵产品的技术发展现状,并对比了不同产品的技术特点。阐述了国产低温泵进军集成电路制造业的历程与现状。

关键词: 集成电路, 低温泵, 发展现状

Abstract: The cryopump with GM refrigerator as the core component is a kind of ultra-high vacuum acquisition equipment. Owing to its characteristics and advantages, it has been widely used in integrated circuit manufacturing processes and equipment. In recent years, with the rapid development of China′s integrated circuit manufacturing equipment and complete sets of technology, the demand for cryopumps as important components is also increasing. The technical development status of imported cryopump products in domestic integrated circuit manufacturing is introduced, and the technical characteristics of different products are compared. The history and current situation of domestic cryopumps entering the integrated circuit manufacturing industry are described.

Key words: integrated circuit, cryopump, development status

中图分类号: 

  • TP23
[1] 张汝金. 纳米集成电路制造工艺[M]. 北京: 清华大学出版社, 2014: 1-2.
[2] 张渊主. 半导体制造工艺[M]. 北京: 机械工业出版社, 2010: 11-12.
[3] 施敏, 梅凯瑞. 半导体制造工艺基础[M]. 陈军宁, 柯导明, 孟坚, 译. 合肥: 安徽大学出版社, 2007: 13.
[4] ZANT P V.半导体工艺制程实用教程(第六版)[M]. 韩郑生, 译. 北京: 电子工业出版社, 2015: 254.
[5] 刘豪, 张强, 赵志昊, 等. 半导体设备真空泵常见故障分析及维修[J]. 设备管理与维修, 2020(5): 44-45.
[6] 高香院. 现代低温泵[M]. 西安: 西安交通大学出版社, 1990: 263.
[7] 冯欣宇, 邓家良, 曾环, 等. 制冷机低温泵控制器设计[J]. 低温与超导, 2019, 47(7): 24-25.
[8] 曾环, 邓家良, 孙志和. 250mm口径低温泵设计[J]. 真空, 2020, 57(2): 13-16.
[9] BROOKS AUTOMATION INC.On-board cryopumpinstallation and maintenance manual[EB/OL].[2013-01-11].10 https: //www.brooks.com/support/technical-support/11 documentation/cryopumps/~/media/Files/Support/Documentation/Vacuum/Cryopumps/Manuals%20Cryopumps/12 8040491.pdf.
[10] BROOKS AUTOMATION INC.Brooks-cryogenics On-Board IS cryopump installation manual[EB/OL].[2013-01-11].https://jp.brooks.com/support/technical-support/documentation/cryopumps/~/media/Files/Support/Documentation/Vacuum/Cryopumps/Manuals%20Cryopumps/8040596.pdf.
[11] SUMITOMO HEAVY INDUSTRIES, LTD. Cryopump product catalogue[EB/OL].[2012-09-20].https://www.synsysco.com/wp-content/uploads/2016/02/Cryopump-Product-Catalogue.pdf.
[12] SUMITOMO HEAVY INDUSTRIES,LTD. Sicera cryopump[EB/OL].[2012-11-12].www.shicryogenics.com/wp-content/uploads/2012/11/SICERA-Product-Catalogue.pdf.
[13] 赵月帅, 孙立臣, 邵容平, 等. DN1250液氮屏蔽型制冷机低温泵的研制与性能测试[J]. 真空, 2019, 56(1): 1-5.
[14] 李长春, 朱小荣, 蒙峻, 等. HIRFL-800低温泵快速再生系统研究[J]. 真空科学与技术学报, 2018, 38(6): 450-454.
[15] 卢少波, 王承章, 张吉峰. 低温泵在超高真空炉中的应用实例[J]. 真空科学与技术学报, 2017,37(2):28-32.
[16] 柏树,杨建斌,颜昌林, 等.大口径抽氙气低温泵的研制[C]//中国真空学会2014学术年会论文集,2014.
[17] 艾恩溪. 解读集成电路产业发展推进纲要畅谈发展大计[J].集成电路应用,2014(12):4-5.
[18] SUMITOMO HEAVY INDUSTRIES, LTD. Cryopump: US 20170198684 A1[P].2017-07-13.
[19] SUMITOMO HEAVY INDUSTRIES, LTD. Cryopump, cryopumped gas amount estimation device and cryopumped gas amount estimation method: US 20170276129 A1[P].2017-09-28.
[20] SUMITOMO HEAVY INDUSTRIES, LTD. Cryopump and method of operating the cryopump: US 20170145998 A1[P].2017-05-25.
[1] 曾环, 邓家良, 孙志和. 250mm口径低温泵设计*[J]. 真空, 2020, 57(2): 13-16.
[2] 刘朝, 邢洪硕, 苏家豪, 张钧深, 梁帅, 谢元华, 韩进. 真空电梯现状与发展趋势探讨*[J]. 真空, 2019, 56(6): 54-59.
[3] 赵月帅, 孙立臣, 邵容平, 闫荣鑫, 孙 伟, 李 征. DN1250 液氮屏蔽型制冷机低温泵的研制与性能测试[J]. 真空, 2019, 56(1): 1-5.
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[1] 李得天, 成永军, 张虎忠, 孙雯君, 王永军, 孙 健, 李 刚, 裴晓强. 碳纳米管场发射阴极制备及其应用研究[J]. 真空, 2018, 55(5): 1 -9 .
[2] 郑 列, 李 宏. 200kV/2mA 连续可调直流高压发生器的设计[J]. 真空, 2018, 55(6): 10 -13 .
[3] 纪 明, 孙 亮, 杨敏勃. 一种用于对月球样品自动密封锁紧的设计[J]. 真空, 2018, 55(6): 24 -27 .
[4] 宋青竹, 张哲魁, 孙足来, 鄂东梅. 大型钛合金熔铸技术——真空电弧凝壳精铸设备进展[J]. 真空, 2018, 55(5): 58 -61 .
[5] 阮庆东, 蒲世豪, 陈 常, 魏于苹. 一种新型高能离子注入系统的加速电源研制[J]. 真空, 2018, 55(6): 14 -18 .
[6] 王晓冬, 吴虹阅, 张光利, 李 赫, 孙 浩, 董敬亮, TU Jiyuan. 计算流体力学在真空技术中的应用[J]. 真空, 2018, 55(6): 45 -48 .
[7] 李忠仁, 明 悦, 朱一鸣. 电阻加热真空高温石墨化炉的功率计算[J]. 真空, 2018, 55(6): 73 -75 .
[8] 尹沙沙, 彭润玲, 韦 妍, 曹 蔚, 王 宁. 真空冷冻干燥法制备纳米二硫化钼的实验研究[J]. 真空, 2018, 55(6): 80 -83 .
[9] 陈 博, 杨 飞, 李建昌. 柔性薄膜材料疲劳失效研究[J]. 真空, 2019, 56(1): 20 -26 .
[10] 张以忱. 第二十讲 真空离子镀膜[J]. 真空, 2019, 56(2): 78 -80 .
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