TY - 真空 A1 - 丁孙安, 杨辉 T1 - 纳米真空互联大装置(Nano-X)及其应用进展* Y1 - 2019-11-25 JF - 真空 JO - 真空 SP - 60 EP - 63 VL - 56 IS - 6 UR - http://www.vacjour.com N1 - 10.13385/j.cnki.vacuum.2019.06.11 ER -