TY - 真空 A1 - 余华俊, 赵习军, 武瑞军 T1 - 磁控溅射中旋转阴极的对角效应及其解决途径 Y1 - 2021-05-25 JF - 真空 JO - 真空 SP - 51 EP - 54 VL - 58 IS - 3 UR - http://www.vacjour.com N1 - 10.13385/j.cnki.vacuum.2021.03.10 ER -