TY - 真空 A1 - 陈 博, 杨 飞, 李建昌 T1 - 柔性薄膜材料疲劳失效研究 Y1 - 2019-01-25 JF - 真空 JO - 真空 SP - 20 EP - 26 VL - 56 IS - 1 UR - http://www.vacjour.com N1 - 10.13385/j.cnki.vacuum.2019.01.05 ER -