TY - 真空 A1 - 张以忱 T1 - 第二十讲 真空离子镀膜 Y1 - 2019-03-25 JF - 真空 JO - 真空 SP - 78 EP - 80 VL - 56 IS - 2 UR - http://www.vacjour.com N1 - 10.13385/j.cnki.vacuum.2019.02.16 ER -