RT Journal T1 油封式旋片真空泵常见故障分析及处理方法 A1 张龙河 PB 真空 FD 2021-05-25 YR 2021 JF 真空 JO 真空 VO 58 IS 3 SP 17 DO 10.13385/j.cnki.vacuum.2021.03.04 K1 油封式旋片泵;故障;维修;真空泵;真空系统 LK {http://www.vacjour.com/CN/article/article_285.shtml}