RT Journal T1 直流射频耦合制备微纳结构 AZO 薄膜及其性能研究 A1 姚婷婷, 仲召进, 李 刚, 汤永康, 杨 勇, 金克武, 沈洪雪, 王天齐, 彭塞奥, 金良茂, 沈鸿烈, 甘治平, 马立云 PB 真空 FD 2018-11-25 YR 2018 JF 真空 JO 真空 VO 55 IS 6 SP 64 DO 10.13385/j.cnki.vacuum.2018.06.14 K1 AZO 薄膜;表面形貌;微纳结构;靶电压;电学性能;雾度 LK {http://www.vacjour.com/CN/article/article_30.shtml}