TY - 真空 A1 - 李波, 刘俊男, 张敏, 薛松, 陈明 T1 - 上海光源溅射离子泵性能测试* Y1 - 2021-05-25 JF - 真空 JO - 真空 SP - 13 EP - 16 VL - 58 IS - 3 UR - http://www.vacjour.com N1 - 10.13385/j.cnki.vacuum.2021.03.03 ER -