TY - 真空 A1 - 伍醒, 蒋爱华, 程勇 T1 - 射频功率对DLC薄膜结构和力学性能的影响 Y1 - JF - 真空 JO - 真空 SP - 34 EP - 36 VL - 56 IS - 4 UR - http://www.vacjour.com N1 - 10.13385/j.cnki.vacuum.2019.04.08 ER -