TY - 真空 A1 - 王槐乾, 姜宏伟 T1 - 磁控溅射反应法制备TiN纳米薄膜 Y1 - JF - 真空 JO - 真空 SP - 37 EP - 39 VL - 56 IS - 4 UR - http://www.vacjour.com N1 - 10.13385/j.cnki.vacuum.2019.04.09 ER -