真空 ›› 2019, Vol. 56 ›› Issue (2): 31-36.doi: 10.13385/j.cnki.vacuum.2019.02.06
黄化岩, 刘芳
HUANG HUA-yan, LIU Fang
摘要： 电子诱导脱附是指荷能电子轰击吸附了气体分子的材料表面,使得气体分子解吸出来的现象。在同步辐射光源、热阴极电离规和真空微电子器件等部件中,上述脱附气载是影响系统真空度和阴极寿命的主要因素。本文以日本光子工厂电子诱导脱附（KEK-ESD）装置试验数据为参考,研制了一台在150eV~1000eV电子能量范围内测量材料电子解吸系数的试验装置,并同KEK-ESD无氧铜材料试验数据进行了对比,证明本装置能有效测试材料表面的电子解吸系数。
中图分类号:
| [1] | 陈明,刘俊男,刘腾飞,等. 上海光源光束线真空系统[C]. 第八届华东三省一市真空学术交流会论文集, 2013. |
| [2] | 殷立新. 同步辐射电子储存环超高真空系统物理设计与实验研究[D].合肥:中国科技技术大学,1997 |
| [3] | 琼木健.KEK Proceedings 94-3,1994,A:159. |
| [4] | Fischer G E, Mack R A.Vacuum design problems of high- current electron storage rings[R]. Cambridge Electron Acc- elerator, Mass., 1964. |
| [5] | Hermle S, Heidenreich G, Einfeld D, et al.Layout of the absorbers for the synchrotron light source ANKA[J]. 1999. |
| [6] | Qian Shinanet al. Current Status of HESYRL Lithography Beam Line[J].Physica Seripia,1990,40:777~779. |
| [7] | Chen J R, Liu Y C.The straight vacuum chambers of the SRRC 1.3 GeV electron storage ring[J]. Vacuum, 1993, 44(5): 545-548. |
| [8] | 黄化岩,等.四极质谱仪在电子诱导脱附实验中的应用[J].真空,2016,53:51~54 |
| [9] | 张彤. 高压强下电子诱导脱附的研究方法[A].江苏省真空学会、安徽省真空学会、浙江省真空学会、上海市真空学会.华东三省一市第三届真空学术交流会论文集 |
| [10] | 张彤,胡安,毛福明,等.N_2在多晶Ni表面电子诱导脱附的实验研究[J].真空科学与技术, 2003(05):38-40+53. |
| [11] | 张彤,毛福明.低能电子诱导脱附的理论研究[J].电子器件, 2000(01):60-66. |
| [12] | 习振华. 热阴极电离规ESD效应研究[A].中国真空学会(ChineseVacuumSociety).中国真空学会2012学术年会论文摘要集 |
| [13] | Menzel D, Gomer R.Desorption from metal surfaces by low-energy electrons[J]. The Journal of Chemical Physics, 1964, 40: 1164. |
| [14] | Menzel D, Gomer R.Desorption from metal surfaces by low-energy electrons[J]. The Journal of Chemical Physics, 1964, 41: 3311. |
| [15] | Redhead P A.Interaction of slow electrons with chemisorbed oxygen[J]. Canadian Journal of Physics, 1964, 42(5): 886-905. |
| [16] | Feibelman P J, Knotek M L.Reinterpretation of electron- stimulated desorption data from chemisorption systems[J]. Physical Review B, 1978, 40:964. |
| [17] | Knotek M L, Feibelman P J.Stability of ionically bonded surfaces in ionizing environments[J]. Surface Science, 1979, 90:78-90. |
| [1] | 赵洲, 张安军. 真空多层绝热管道结露、结冰问题分析研究[J]. 真空, 2019, 56(2): 41-44. |
|
||