相对法校准真空漏孔及不确定度的评定

doi:10.13385/j.cnki.vacuum.2019.02.13

真空 ›› 2019, Vol. 56 ›› Issue (2): 66-68.doi: 10.13385/j.cnki.vacuum.2019.02.13

相对法校准真空漏孔及不确定度的评定

刘兴胜¹, 解永蓉¹, 郑颖¹, 费渭南²

1.中国工程物理研究院电子工程研究所,四川绵阳 621900;
2.中国计量科学研究院,北京 100013

收稿日期:2018-03-21 出版日期:2019-03-25 发布日期:2019-04-18
通讯作者: 费渭南,研究员。
作者简介:刘兴胜（1974-）,男,四川省绵阳市人,本科,高级工程师。

A relative method for calibrating vacuum leak and uncertainty assessment

LIU Xing-sheng¹, XIE Yong-rong¹, ZHENG Ying¹, FEI Wei-nan²

1.Institute of Electronic Engineering, CAEP, Mianyang 621900, China;
2.National Institute of Metrology, Beijing 100013, China

Received:2018-03-21 Online:2019-03-25 Published:2019-04-18

摘要/Abstract

摘要： 相对法校准真空漏孔是通过比较四极质谱计采集的电流值,根据已知标准漏孔漏率计算出被校真空漏孔漏率的一种方法。使用真空漏率校准装置,能方便的校准真空漏孔,且不确定度符合量值传递要求,满足了实际需要。主要介绍了相对法校准真空漏孔的原理,过程及不确定度的评定。

关键词: 相对法, 真空漏孔, 校准原理, 校准过程, 不确定度

Abstract: A relative method for calibrating vacuum leak is to compare collection current of quadruple mass spectrometer. According to the known standard leakage rate, the leakage rate of vacuum leak can be calculated. Use the calibration device of vacuum and leak rate, it can conveniently calibrate the vacuum leak, makes the uncertainty conforming to the requirement of values transfer, and satisfy actual requirement. This paper mostly introduces the theory, process of relative method for calibrating vacuum leak and uncertainty assessment.

Key words: relative method, vacuum leak, calibration theory, calibration process, uncertainty

中图分类号:

TB75

刘兴胜, 解永蓉, 郑颖, 费渭南. 相对法校准真空漏孔及不确定度的评定[J]. 真空, 2019, 56(2): 66-68.

LIU Xing-sheng, XIE Yong-rong, ZHENG Ying, FEI Wei-nan. A relative method for calibrating vacuum leak and uncertainty assessment[J]. VACUUM, 2019, 56(2): 66-68.

参考文献 4

[1]	国防科工委科技与质量司. 力学计量[M]. 北京,原子能出版社,2002:548-549.
[2]	航空航天部QJ2040.标准漏孔的校准方法[S]. 北京, 中国标准出版社,1991:1-3.
[3]	刘兴胜,解永蓉,郑颖,等. 真空漏率校准装置的研制和应用[J]. 真空,2016,53(1):69-72.
[4]	国家质量监督检验检疫总局. JJF1059.1-2012测量不确定度评定与表示[S]. 北京, 中国标准出版社,2013:25-29.

相关文章 9

[1]	孙志明, 何超, 张英莉, 朱志鹏, 岳向吉, 张斌, 巴德纯. 大型卧式真空容器的设计及有限元分析[J]. 真空, 2019, 56(2): 26-30.
[2]	杨华飞, 尹珊珊, 罗根松, 梁以恒. 机械真空泵节能技术的研究和探索[J]. 真空, 2019, 56(2): 37-40.
[3]	赵洲, 张安军. 真空多层绝热管道结露、结冰问题分析研究[J]. 真空, 2019, 56(2): 41-44.
[4]	赵月帅, 孙立臣, 邵容平, 闫荣鑫, 孙伟, 李征. DN1250 液氮屏蔽型制冷机低温泵的研制与性能测试[J]. 真空, 2019, 56(1): 1-5.
[5]	宁远涛, 黄涛, 陈琦, 张延顺, 齐晓军. 基于有限元的分子泵高速轴系优化设计[J]. 真空, 2019, 56(1): 11-15.
[6]	亚历山德罗·阿巴特科拉. 一种用于粒子加速器的新型高流导离子泵[J]. 真空, 2019, 56(1): 16-19.
[7]	王晓冬, 吴虹阅, 张光利, 李赫, 孙浩, 董敬亮, TU Jiyuan. 计算流体力学在真空技术中的应用[J]. 真空, 2018, 55(6): 45-48.
[8]	谢元华, 韩进, 张志军, 徐成海. 真空输送的现状与发展趋势探讨（六）[J]. 真空, 2018, 55(6): 28-32.
[9]	谢元华, 韩进, 张志军, 徐成海. 真空输送的现状与发展趋势探讨（五）[J]. 真空, 2018, 55(5): 34-37.

Metrics

Viewed

Full text

Abstract

Cited

Shared

Discussed

相对法校准真空漏孔及不确定度的评定

A relative method for calibrating vacuum leak and uncertainty assessment

摘要/Abstract

引用本文

使用本文

参考文献 4

相关文章 9

Metrics

本文评价

推荐阅读 0