基于LabVIEW的朗缪尔单探针数据处理系统

doi:10.13385/j.cnki.vacuum.2020.06.11

真空 ›› 2020, Vol. 57 ›› Issue (6): 48-53.doi: 10.13385/j.cnki.vacuum.2020.06.11

基于LabVIEW的朗缪尔单探针数据处理系统

殷冀平¹, 乔宏², 蔺增^{1, 3}, 巴德纯^{1, 3}

1.东北大学机械工程与自动化学院,辽宁沈阳 110819;
2.上海卫星装备研究所,上海 200240;
3.辽宁省植入器械与界面科学重点实验室,辽宁沈阳 110819

出版日期:2020-11-25 发布日期:2020-11-30
通讯作者: 蔺增，博士，教授。
作者简介:殷冀平（1985-），男，安徽省铜陵市人，博士研究生。
基金资助:
国家自然科学基金资助项目（51775096）；中国科学院- 威高研究发展计划攻关项目（[2017]006）；沈阳市科学技术计划项目（F16-080-8-00）。

Data Processing System of Single Langmuir Probe Based on LabVIEW

YIN Ji-ping¹, QIAO Hong², LIN Zeng^{1, 3}, BA De-chun^{1, 3}

1.School of Mechanical Engineering & Automation, Northeastern University, Shenyang 110819, China;
2.Shanghai Institute of Spacecraft Equipment, Shanghai 200240, China;
3.Key Laboratory of Implant Device and Interface Science of Liaoning Province, Shenyang 110819, China

Online:2020-11-25 Published:2020-11-30

摘要/Abstract

摘要： 朗缪尔单探针处理系统是使用单探针对符合麦克斯韦电子分布的等离子体放电进行测量诊断的基于LabVIEW运行的处理软件。该系统通过格拉布斯准则实现了对大误差数据的剔除。使用Savitzky-Golay滤波器对V-I曲线进行平滑处理,在将离子流排除后,对过渡区曲线进行处理与计算,得到等离子体放电相关参数。使用该套处理系统能够快捷准确地将繁杂的探针数据处理工作变得更为简单,为朗缪尔探针的实际应用提供了基础。使用该套探针处理系统处理了电子回旋共振波等离子体放电随功率变化的V-I曲线并得到准确的结果。

关键词: 朗缪尔单探针处理系统, LabVIEW, 格拉布斯准则, Savitzky-Golay滤波器, 电子回旋共振波等离子体放电

Abstract: Single Langmuir probe processing system is a processing software based on LabVIEW, which uses a single probe to measure and diagnose the plasma discharge in accordance with the Maxwellian electron distribution. The system can eliminate the big error data through the Grubbs criterion. The Savitzky-Golay filter is used to smooth the V-I curve. The relevant parameters of plasma discharge are obtained by processing and calculating the curve of transition region after the ion current is removed. Using this system, we can make the complicated probe data processing work simple and accurate, which provides the practical application for Langmuir probe. The V-I curve of electron cyclotron wave resonance plasma discharge with power variation was processed by using this probe processing system and the accurate results were obtained.

Key words: Single Langmuir probe processing system, LabVIEW, Grubbs criterion, Savitzky-Golay filter, electron cyclotron wave resonance plasma discharge

中图分类号:

O539

殷冀平, 乔宏, 蔺增, 巴德纯. 基于LabVIEW的朗缪尔单探针数据处理系统[J]. 真空, 2020, 57(6): 48-53.

YIN Ji-ping, QIAO Hong, LIN Zeng, BA De-chun. Data Processing System of Single Langmuir Probe Based on LabVIEW[J]. VACUUM, 2020, 57(6): 48-53.

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Data Processing System of Single Langmuir Probe Based on LabVIEW

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