真空 ›› 2025, Vol. 62 ›› Issue (3): 70-75.doi: 10.13385/j.cnki.vacuum.2025.03.13
曾方琪, 李运坡, 魏于苹, 蒲世豪, 金凡亚
ZENG Fangqi, LI Yunpo, WEI Yupin, PU Shihao, JIN Fanya
摘要： 随着离子注入技术的发展,用于离子源的电源也备受关注。为了解决离子注入过程中绝缘材料表面电荷累积的问题,设计了一款用于200 kHz离子源电源的高频脉冲变压器。采用AP法详细计算了变压器各参数,并根据参数计算结果采用两种不同绕制工艺制作了变压器,比较了两种不同绕制工艺下的输出波形。结果表明,原边疏绕、副边均匀密绕方式下输出波形较优,脉冲变压器输出参数符合实际工程要求。
中图分类号: TN86;TN78
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