VACUUM ›› 2024, Vol. 61 ›› Issue (3): 20-25.doi: 10.13385/j.cnki.vacuum.2024.03.04
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YU Yan-fei, LI Xiao-gang, HU Xiang-e, CHEN Jin-wen, CHEN Jie-xin
CLC Number: TB752+.53
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