VACUUM ›› 2023, Vol. 60 ›› Issue (5): 51-54.doi: 10.13385/j.cnki.vacuum.2023.05.07
• Thin Film • Previous Articles Next Articles
ZHOU Tong, LI Peng, CAO Hong-li, ZHANG Hai-long
CLC Number: TB43;O461
| [1] 张婧. 等离子体技术在材料领域中的应用研究进展[J]. 安全、健康和环境, 2021, 21(1): 1-7. [2] 杨建伟. 不同等离子清洗在半导体封装中的应用研究[J]. 电子与封装, 2019, 19(5): 1-4. [3] 孙祖琴. 等离子清洗在电子元器件中的应用[J]. 机电元件, 2010, 30(1): 13-15. [4] 高瑞红. 等离子清洗在先进封装工艺中的应用[J]. 现代制造技术与装备, 2021(3): 100-102. [5] OHYA Y, ISHIKAWA K, KOMURO T, et al.Spatial profiles of interelectrode electron density in direct current superposed dual-frequency capacitively coupled plasmas[J]. Journal of Physics D: Applied Physics, 2017, 50(15): 155201. [6] MARINOV D, de MARNEFFE J F, SMETS Q, et al. Reactive plasma cleaning and restoration of transition metal dichalcogenide monolayers[J]. npj 2D Materials and Applications, 2021(5): 17. [7] 郝飞霞. 射频等离子体抛光装置及工艺研究[D]. 西安: 西安工业大学, 2014. [8] 杨旺, 刘学平, 夏焕雄, 等. 容性耦合等离子体腔室放电特性仿真研究[J]. 真空科学与技术学报, 2015, 35(6): 639-645. [9] 李斌, 李进兴, 周晓剑, 等. 低压射频放电冷等离子体处理改善圆竹表面涂覆性能的影响[J]. 西南林业大学学报, 2019, 39(4): 135-141. [10] 苏永飞. 低气压辉光放电等离子体除尘装置及实验研究[D]. 唐山: 华北理工大学, 2019. [11] 张仲麟. 大气压介质阻挡放电等离子体调制技术其及特性研究[D]. 哈尔滨: 哈尔滨工业大学, 2018. [12] AMRI M S, WAN N, HARUN F, et al.An improvement of plasma cleaning time towards leadframe oxidation performance[J]. Journal of Physics: Conference Series, 2020, 1529(4): 042024. [13] 王荷军, 王波, 刘云辉, 等. 放电参量对射频容性耦合等离子体电子密度的影响[J]. 真空, 2017, 54(4): 26-30. [14] LIU Y X, KOROLOV I, SCHUENGEL E, et al.Striations in electronegative capacitively coupled radio-frequency plasmas:analysis of the pattern formation and the effect of the driving frequency[J]. Plasma Sources Science and Technology, 2017, 26(5): 55024. [15] 郝玲艳. 大气压沿面介质阻挡放电等离子体特性研究[D]. 济南: 山东大学, 2016. [16] 韩乾翰. 大气压级联放电等离子体及其与材料表面处理研究[D]. 上海: 东华大学, 2022. [17] 林茂, 徐浩军, 魏小龙, 等.放电参数变化对电感耦合等离子闭式等离子体空间分布特性研究[J]. 电工技术学报, 2022, 37(5): 1294-1304. [18] 周倩倩, 黄城. 低气压高密度等离子体放电研究[J]. 集成电路应用, 2018, 35(9): 52-53. [19] 赵英伟, 张文雅, 郝晓亮. 射频等离子工艺设备中的自动阻抗匹配技术[J]. 电子技术应用, 2020, 46(10): 61-63. [20] 吴勤斌, 罗日成, 王学禹, 等. 射频容性耦合等离子体阻抗影响因素研究[J]. 真空科学与技术学报, 2020, 40(5): 458-464. |
| [1] | YIN Ji-ping, QIAO Hong, LIN Zeng, BA De-chun. Data Processing System of Single Langmuir Probe Based on LabVIEW [J]. VACUUM, 2020, 57(6): 48-53. |
|
||