真空 ›› 2021, Vol. 58 ›› Issue (5): 85-88.doi: 10.13385/j.cnki.vacuum.2021.05.15
成成1, 王洪强1, 李阳2, 张华标2
CHENG Cheng1, WANG Hong-qiang1, LI Yang2, ZHANG Hua-biao2
摘要: 本文介绍了一种坩埚冷却供水闭式循环监控系统,以西门子S7-1200系列PLC作为控制核心,WinCC 7.3组态软件作为人机界面,目的是为坩埚冷却供水闭式循环系统提供一种安全可靠的监控系统。该系统包括水泵、流量计、压力表、温度计、电磁阀门、压力变送器等,实时监测和控制整个坩埚冷却供水闭式循环系统。该系统已在线稳定运行多年,控制系统安全稳定,人机界面清晰、交互性好、抗干扰能力强,满足线上运行需求。
中图分类号:
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