真空 ›› 2019, Vol. 56 ›› Issue (1): 20-26.doi: 10.13385/j.cnki.vacuum.2019.01.05
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陈 博,杨 飞,李建昌
CHEN Bo, YANG Fei, LI Jian-chang
摘要: 本文从薄膜材料的选择、失效机理、机械性能测试方法和疲劳失效对电学参数影响等方面进行 了综述。分析了拉伸、弯折对薄膜微观形貌的影响,以及微裂纹的萌生、扩展以及饱和三个阶段的主要特 点。总结了薄膜材料、晶粒大小、薄膜厚度对薄膜疲劳寿命的作用,进而分析对薄膜电学参数的影响。对 薄膜表面、沿厚度方向和界面处疲劳裂纹的可控性进行了展望,将数学模拟与薄膜疲劳实验现象要更好 的结合起来,可提高二者的符合程度。
中图分类号:
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