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真空 ›› 2019, Vol. 56 ›› Issue (1): 20-26.doi: 10.13385/j.cnki.vacuum.2019.01.05

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柔性薄膜材料疲劳失效研究

陈 博,杨 飞,李建昌   

  1. 东北大学机械工程与自动化学院真空流体工程研究中心,辽宁 沈阳 110819
  • 收稿日期:2018-06-01 出版日期:2019-01-25 发布日期:2019-02-19
  • 通讯作者: 李建昌,教授、博士生导师。
  • 作者简介:陈博(1992-),男,辽宁省本溪市人,硕士生。

Studies on fatigue failure of flexible thin film materials

CHEN Bo, YANG Fei, LI Jian-chang   

  1. Vacuum and Fluid Engineering Research Center, School of Mechanical Engineering and Automation, Northeastern University, Shenyang 110819, China
  • Received:2018-06-01 Online:2019-01-25 Published:2019-02-19

摘要: 本文从薄膜材料的选择、失效机理、机械性能测试方法和疲劳失效对电学参数影响等方面进行 了综述。分析了拉伸、弯折对薄膜微观形貌的影响,以及微裂纹的萌生、扩展以及饱和三个阶段的主要特 点。总结了薄膜材料、晶粒大小、薄膜厚度对薄膜疲劳寿命的作用,进而分析对薄膜电学参数的影响。对 薄膜表面、沿厚度方向和界面处疲劳裂纹的可控性进行了展望,将数学模拟与薄膜疲劳实验现象要更好 的结合起来,可提高二者的符合程度。

关键词: 失效机制, 力学性能测试方法, 电学参数

Abstract: In this article, the selection of thin film materials, failure mechanism, mechanical properties test method and fatigue failure are reviewed. The influence of tensile bending on the microstructure of the film and the initiation, electrical properties, expansion and saturation of microcracks were analyzed. The effects of film material, grain size and film thickness on the fatigue life of thin film were summarized. On membrane surface, along the thickness direction and control of fatigue crack was discussed. It is shown that the future studies on mathematical modeling and film fatigue experiment need to be combined together for better results.

Key words: failure mechanism, mechanical properties test method, electrical properties

中图分类号: 

  • TB43
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