VACUUM ›› 2026, Vol. 63 ›› Issue (3): 36-43.doi: 10.13385/j.cnki.vacuum.2026.03.05
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WANG Yuanhui1, ZHOU Mingxu1, LI Jianchang1, YUAN Hongfeng2, GONG Zhigang2
CLC Number: TF135;TG155
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