真空 ›› 2019, Vol. 56 ›› Issue (1): 27-33.doi: 10.13385/j.cnki.vacuum.2019.01.06
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王福贞 1,陈大民 2,颜远全 3
WANG Fu-zhen1, CHEN Da-min2, YAN Yuan-quan3
摘要: 弧光放电氩离子清洗源是提高膜基结合力的新技术。由空心阴极枪、热丝弧枪、阴极电弧源发 射的高密度弧光电子流把氩气电离,用得到的高密度的氩离子流清洗工件。工件偏压 200V 以下,工件偏 流可以达到 10A-30A,弧光放电氩离子流密度大,对工件的清洗效果好。本文介绍了几种配置弧光放电 氩离子清洗源的电弧离子镀膜机和磁控溅射镀膜机。
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