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真空 ›› 2020, Vol. 57 ›› Issue (6): 18-22.doi: 10.13385/j.cnki.vacuum.2020.06.04

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红外测温成像系统光学薄膜滤光片设计与镀制工艺研究

郭志帅1, 费书国1, 2, 阴晓俊2, 高鹏2, 赵帅锋2, 王银河2, 宋光辉2   

  1. 1.沈阳工业大学 信息科学与工程学院,辽宁 沈阳 110870;
    2.沈阳仪表科学研究院有限公司,辽宁 沈阳 110043
  • 收稿日期:2020-06-15 出版日期:2020-11-25 发布日期:2020-11-30
  • 通讯作者: 费书国,教授级高工。
  • 作者简介:郭志帅(1994-),男,山东省菏泽市人,硕士生。

Design and Coating Technology of Optical Filter for Infrared Thermometry Imaging

GUO Zhi-shuai1, FEI Shu-guo1, 2, YIN Xiao-jun2, GAO Peng2, ZHAO Shuai-feng2, WANG Yin-he2, SONG Guang-hui2   

  1. 1.School of Information Science and Engineering, Shenyang University of Technology, Shenyang 110870, China;
    2.Shenyang Instrument Science Research Institute Co., Ltd., Shenyang 110043, China
  • Received:2020-06-15 Online:2020-11-25 Published:2020-11-30

摘要: 研究了人体红外测温、成像系统光学薄膜滤光片的光谱特性参数、膜系设计及镀膜工艺。根据黑体辐射理论计算人体红外辐射光谱分布,提出滤光片光谱特性参数要求:截止波长5.5μm,透射区波段7μm~12μm,平均透射率大于85%,截止波段UV-5μm,平均截止背景大于OD3。采用单晶硅片为基底,锗、硫化锌为镀膜材料,设计滤光片膜系,研究提出真空镀制工艺。

关键词: 红外测温, 滤光片, 膜系设计, 镀膜工艺

Abstract: The infrared temperature measurement of human body, the spectral characteristic parameters of the optical film filter of the imaging system, the film system design and the coating process are studied. According to the black body radiation theory, the infrared radiation spectrum distribution of the human body is calculated, and the filter spectral characteristic parameters are requiredcut-off wavelength 5.5 μm, transmission band 7μm~12μm, average transmittance is greater than 85%, cut-off band UV-5 μm, average cut-off background is greater than OD3. The single crystal silicon wafer is used as the substrate, and germanium and zinc sulfide are used as the coating materials. The filter film system is designed, and the vacuum plating process is proposed.

Key words: infrared temperature measurement, optical filter, thin film layers design, coating process

中图分类号: 

  • O439
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