波长渐变滤光片的设计与测试探讨

doi:10.13385/j.cnki.vacuum.2020.01.04

真空 ›› 2020, Vol. 57 ›› Issue (1): 21-25.doi: 10.13385/j.cnki.vacuum.2020.01.04

波长渐变滤光片的设计与测试探讨

王忠连, 任少鹏, 阴晓俊, 王瑞生, 高鹏, 班超, 胡雯雯

沈阳仪表科学研究院有限公司,辽宁沈阳 110043

收稿日期:2019-09-03 出版日期:2020-01-25 发布日期:2020-03-17
作者简介:王忠连(1981-),男,吉林省长春市人,硕士,工程师。

Study of Design and Measurement for Variable Filter

WANG Zhong-lian, REN Shao-peng, YIN Xiao-jun, WANG Rui-sheng, GAO Peng, BAN Chao, HU Wen-wen

Shenyang Academy of Instrumentation Science CO., LTD., Shenyang 110043, China

Received:2019-09-03 Online:2020-01-25 Published:2020-03-17

摘要/Abstract

摘要： 基于膜厚渐变-波长渐变的原理设计了波长渐变滤光片,介绍了基于反应磁控溅射镀膜工艺制造波长渐变滤光片的制备工艺,设计了渐变膜厚的修正掩膜板。探讨了波长渐变滤光片的测试技术。

关键词: 波长渐变滤光片, 渐变掩膜板, 磁控溅射, 渐变光谱测试

Abstract: The variable filter is designed based on the principle of film thickness and wavelength variable. The fabrication of variable filter based on reactive magnetron sputtering coating machine was introduced, and the correction mask with variable film thickness is designed. The measurement of variable filter is discussed.

Key words: variable filter, correction mask with variable film, magnetic sputtering, measurement of variable spectrum

中图分类号:

O436

王忠连, 任少鹏, 阴晓俊, 王瑞生, 高鹏, 班超, 胡雯雯. 波长渐变滤光片的设计与测试探讨[J]. 真空, 2020, 57(1): 21-25.

WANG Zhong-lian, REN Shao-peng, YIN Xiao-jun, WANG Rui-sheng, GAO Peng, BAN Chao, HU Wen-wen. Study of Design and Measurement for Variable Filter[J]. VACUUM, 2020, 57(1): 21-25.

参考文献

[1] CHADERI M,AYERDEN N P,EMADI A,et al.Design fabrication and characterization of infrared LVOFs for measuring gas composition[J]. Journal of Micromechanics and Microengineering,2014,24(8):084001.
[2] DI CAPRIO G,SCHAAK D,SCHONBRUN E.Hyperspectral fluorescence microfluidic(HFM) microscopy[J]. Biomedical Optics Express,2013,4(8):1486-1493.
[3] 王颖,巩岩. 线性渐变滤光片型多光谱成像光谱仪设计[J]. 激光与光电子学进展,2016,53(1):241-247.
[4] 李文杰,王成良,郑新波,等. 基于线性渐变滤光片的成像光谱仪综述[J]. 红外,2015,36(3):1-7.
[5] 高兴华,李建永,王霞. 高精度数字星等模拟器的设计[J]. 激光与光电子学进展,2017,54(2):247-253.
[6] 柳青,周锦松,刘旭,等. 现代光学薄膜技术[M]. 杭州:浙江大学出版社,2006.
[7] 张建,高劲松,李玉东. 高色散系数线性渐变滤光片的研制[J]. 光学精密工程,2015,23(5):1221-1226.
[8] 唐晋发. 现代光学薄膜技术[M]. 杭州:浙江大学出版社,2006.
[9] Jeffery J.Puschell,Allen H HUNG,Harold M. Woolf. Geostationary wedge-filter imager-sounder[J]. SPIE,2001,4151:68-76.
[10] 秦洁玉,罗崇泰,马勉军. 线性渐变滤光片镀制挡板设计[J]. 真空与低温,2007,13(1):57-62.
[11] 张立超,高劲松. 基于遮挡矩阵的膜厚修正挡板的设计[J]. 光学精密工程,2013,21(11):2757-2763.
[12] 林坚,林永钟,廖群峰. 光学薄膜厚度修正挡板的设计[J]. 光子学报,1999,28(9):141-145.
[13] 于新洋. 线性渐变滤光片型近红外水果品质分析仪及应用研究 [D] :长春:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,2016.
[14] 范滨,李刚正,程鑫彬,等. 线性渐变滤光片的制备与测试[J]. 光学仪器,2006,28(4):95-103.
[15] 柳青,周锦松,聂云峰,等. 线性渐变滤光片光谱分光特性及检测方法研究[J]. 光谱学与光谱分析,2015,35(4):1142-1145.

Metrics

Viewed

Full text

Abstract

Cited

Shared

Discussed

本文评价

推荐阅读 10

[1]	李得天, 成永军, 张虎忠, 孙雯君, 王永军, 孙健, 李刚, 裴晓强. 碳纳米管场发射阴极制备及其应用研究[J]. 真空, 2018, 55(5): 1 -9 .
[2]	周彬彬, 张建, 何剑锋, 董长昆. 基于 CVD 直接生长法的碳纳米管场发射阴极[J]. 真空, 2018, 55(5): 10 -14 .
[3]	李志胜. 空间环境下超大型红外定标用辐射屏蔽门的研制[J]. 真空, 2018, 55(5): 66 -70 .
[4]	郑列, 李宏. 200kV/2mA 连续可调直流高压发生器的设计[J]. 真空, 2018, 55(6): 10 -13 .
[5]	柴晓彤, 汪亮, 王永庆, 刘明昆, 刘星洲, 干蜀毅. 基于 STM32F103 单片机的单泵运行参数数据采集系统[J]. 真空, 2018, 55(5): 15 -18 .
[6]	孙立志, 闫荣鑫, 李天野, 贾瑞金, 李征, 孙立臣, 王勇, 王健, 张强. 放样氙气在大型收集室内分布规律研究[J]. 真空, 2018, 55(5): 38 -41 .
[7]	黄思 , 王学谦 , 莫宇石 , 张展发 , 应冰 . 液环压缩机性能相似定律的实验研究[J]. 真空, 2018, 55(5): 42 -45 .
[8]	纪明, 孙亮, 杨敏勃. 一种用于对月球样品自动密封锁紧的设计[J]. 真空, 2018, 55(6): 24 -27 .
[9]	李民久, 熊涛, 姜亚南, 贺岩斌, 陈庆川. 基于双管正激式变换器的金属表面去毛刺 20kV 高压脉冲电源[J]. 真空, 2018, 55(5): 19 -24 .
[10]	刘燕文, 孟宪展, 田宏, 李芬, 石文奇, 朱虹, 谷兵, 王小霞 . 空间行波管极高真空的获得与测量[J]. 真空, 2018, 55(5): 25 -28 .

波长渐变滤光片的设计与测试探讨

Study of Design and Measurement for Variable Filter

摘要/Abstract

引用本文

使用本文

参考文献

相关文章 9

Metrics

本文评价

推荐阅读 10

[1]	吴厚朴, 田钦文, 田修波, 巩春志. 新型双极性高功率脉冲磁控溅射电源及放电特性研究^*[J]. 真空, 2019, 56(6): 1-6.
[2]	廖荣, 邓永健, 王家驹, 赵飞兰, 郑若茜, 刘慧君, 柯嘉聪. 高介电氧化铪薄膜的制备与性能研究^*[J]. 真空, 2019, 56(5): 52-55.
[3]	巫仕才, 尚心德. 柔性镀膜材料在电路板行业的应用[J]. 真空, 2019, 56(5): 65-68.
[4]	罗俊尧, 刘光壮, 杨曌, 李保昌, 沓世我. 镍铬硅薄膜电阻层的磁控溅射及湿法刻蚀工艺研究[J]. 真空, 2019, 56(5): 61-64.
[5]	伍醒, 蒋爱华, 程勇. 射频功率对DLC薄膜结构和力学性能的影响[J]. 真空, 2019, 56(4): 34-36.
[6]	王槐乾, 姜宏伟. 磁控溅射反应法制备TiN纳米薄膜[J]. 真空, 2019, 56(4): 37-39.
[7]	刘婵, 王东伟, 李晓敏, 武英桐, 黄美东. 脉冲负偏压对直流磁控溅射碳膜结构和性能的影响[J]. 真空, 2019, 56(2): 69-73.
[8]	王福贞 , 陈大民 , 颜远全 . 弧光放电氩离子清洗源[J]. 真空, 2019, 56(1): 27-33.
[9]	王晓然, 马艳彬, 段苹, 李如永, 庄碧辉, 崔敏, 原安娟, 邓金祥. Mg 掺杂浓度对射频磁控溅射制备 Ga₂O₃ 薄膜性质的影响[J]. 真空, 2018, 55(6): 68-72.