真空 ›› 2020, Vol. 57 ›› Issue (6): 18-22.doi: 10.13385/j.cnki.vacuum.2020.06.04
郭志帅1, 费书国1, 2, 阴晓俊2, 高鹏2, 赵帅锋2, 王银河2, 宋光辉2
GUO Zhi-shuai1, FEI Shu-guo1, 2, YIN Xiao-jun2, GAO Peng2, ZHAO Shuai-feng2, WANG Yin-he2, SONG Guang-hui2
摘要: 研究了人体红外测温、成像系统光学薄膜滤光片的光谱特性参数、膜系设计及镀膜工艺。根据黑体辐射理论计算人体红外辐射光谱分布,提出滤光片光谱特性参数要求:截止波长5.5μm,透射区波段7μm~12μm,平均透射率大于85%,截止波段UV-5μm,平均截止背景大于OD3。采用单晶硅片为基底,锗、硫化锌为镀膜材料,设计滤光片膜系,研究提出真空镀制工艺。
中图分类号:
[1] | 孙成, 潘明强, 王阳俊, 等. 噪声对红外测温性能的影响研究[J]. 红外技术, 2019, 41(4): 370-376. |
[2] | 葛泽勋. 医用红外测温仪及其关键技术研究[D]. 长春: 长春理工大学, 2019. |
[3] | 陈昊. 红外耳温计设计方案与校准结果不确定度评定的研究[D]. 保定: 河北大学, 2014. |
[4] | 朱玲心, 张麟. 长波红外光学薄膜器件研究[J]. 光学仪器, 1999(Z1): 153-155. |
[5] | 李大琪, 刘定权, 张凤山. 6.4~15μm宽带增透膜的设计与制作[J]. 红外与毫米波学报, 2006(2): 135-137. |
[6] | 张佰森, 陈焘, 熊玉卿. 一种长波红外宽光谱长波通滤光片的优化设计[J]. 沈阳师范大学学报(自然科学版), 2010, 28(1): 27-29. |
[7] | 叶自煜, 张佰森, 朱忠奎. 一种长波红外宽光谱长波通滤光片的设计与镀制[J]. 真空科学与技术学报, 2012, 32(9): 830-833. |
[8] | 姚逸云. 黑体辐射规律推广及其简单应用[D]. 武汉: 华中师范大学, 2016. |
[9] | 王从杰. 硅衬底锗薄膜的制备及性质分析[D]. 北京: 华北电力大学, 2018. |
[10] | 魏迎春, 马勉军. 高折射率长波红外材料PbTe的研究现状[J]. 红外, 2007(12): 34-37. |
[11] | 郭瑞萍, 李静, 孙葆森. 国外红外探测器材料技术新进展[J]. 兵器材料科学与工程, 2009, 32(3): 96-99. |
[12] | Wang Y, Zhang Y G, Chen W L,et al.Optical properties and residual stress of YbF3 thin films deposited at different temperatures[J]. Applied optics, 2008, 47(13). |
[13] | 苏伟涛, 李斌. 几种长波红外低折射率材料的研究进展[J]. 红外, 2006(10): 35-40. |
[14] | 薛春荣, 易葵, 邵建达, 等. 几种氟化物薄膜材料的光学特性[J]. 光学精密工程, 2009, 17(7): 1507-1512. |
[15] | Teixeira V.Mechanical integrity in PVD coatings due to the presence of residual stresses[J]. Thin Solid Films, 2001, 392(2): 278-279. |
[16] | 叶自煜, 王多书, 张佰森, 等. 宽截止长波红外带通滤光片的研制[J]. 真空科学与技术学报, 2009, 29(S1): 39-41. |
[17] | 唐晋发. 现代光学薄膜技术[M]. 杭州: 浙江大学出版社, 103-105. |
[18] | 薛增泉. 薄膜物理[M]. 北京: 电子工业出版社, 1991. |
[19] | 蒋丽媛. 温度变化对近红外光学薄膜的应力和光学特性影响研究[D]. 北京: 中国科学院大学(中国科学院上海技术物理研究所), 2018. |
[1] | 任少鹏, 高鹏, 赵帅锋, 王瑞生, 王忠连, 班超. 多通带荧光滤光片的膜系设计[J]. 真空, 2020, 57(5): 14-18. |
[2] | 王忠连, 任少鹏, 阴晓俊, 王瑞生, 高鹏, 班超, 胡雯雯. 波长渐变滤光片的设计与测试探讨[J]. 真空, 2020, 57(1): 21-25. |
[3] | 赵宇辉, 姚超, 王志国. 激光增材制造过程熔池温度测试及预测方法的研究*[J]. 真空, 2020, 57(1): 76-82. |
[4] | 朱元强. 基于F-P滤光片的三通道滤光片的设计[J]. 真空, 2019, 56(5): 74-76. |
|