VACUUM ›› 2022, Vol. 59 ›› Issue (1): 40-47.doi: 10.13385/j.cnki.vacuum.2022.01.08
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WAN Shu-hong1, LIN Jing1, FENG Shuai2
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| [1] 王娅楠, 刘建, 韩笑. 石墨材料在航天领域的应用及展望[J]. 炭素技术, 2017, 36(5): 1-4. [2] 王群, 王婧超, 李雄魁, 等. 航天用轻质结构材料研究进展及应用需求[J]. 宇航材料工艺, 2017, 47(1): 1-4. [3] 毛美姣. 钨钴类硬质合金刀具化学机械抛光基础研究[D]. 长沙: 湖南大学, 2019. [4] 袁帅, 刘献礼, 岳彩旭. 陶瓷刀具的应用及其发展[J]. 金属加工(冷加工). 2015(6): 57-59. [5] 陈东亮. 聚晶金刚石的制备与性能研究[D]. 牡丹江: 牡丹江师范学院, 2019. [6] 张金旭, 任志东, 毕道广, 等. 金刚石厚膜的制备方法及应用展望[J]. 河南科技, 2015(4): 30-33. [7] WANG C C, WANG X C, SUN F F.Tribological behavior and cutting performance of monolayer, bilayer and multilayer diamond coated milling tools in machining of zirconia ceramics[J]. Surface and Coatings Technology, 2018, 353: 49-57. [8] 汤咏舫, 黄纲汉, 刘勇. 人造金刚石聚晶粘结剂的研究[J]. 稀有金属, 2000(2): 111-114. [9] 邓福铭, 卢学军, 赵志岩, 等. CVD金刚石厚膜刀具及应用研究[J]. 金刚石与磨料磨具工程, 2010, 30(2): 29-34. [10] 黄平, 汪建华, 刘繁, 等. 微波法制备单晶金刚石的研究进展[J]. 武汉工程大学学报, 2016, 38(4): 357-363. [11] 吕反修, 唐伟忠, 李成明, 等. 直流电弧等离子体喷射在金刚石膜制备和产业化中的应用[J]. 金属热处理, 2008(1): 48-53. [12] 徐银超, 陈康华, 王社权, 等. 金刚石涂层硬质合金刀具涂层的研究和应用进展[J]. 硬质合金, 2015, 32(2): 136-146. [13] 林峰. 超硬材料的研究进展[J]. 新型工业化, 2016, 6(3): 28-52. [14] LIU K, DAI B, RALCHENKO V, et al.Single crystal diamond UV detector with a groove-shaped electrode structure and enhanced sensitivity[J]. Sensors & Actuators A: Physical, 2017, 259: 121-126. [15] 孙碧武, 刘朝晖, 林彰达. 用表面分析方法直接研究亚稳态条件下金刚石的生长机理[J]. 自然科学进展, 1995(2): 41-44. [16] 汪新义, 邬荫芳. 稀土元素对硬质合金钴粘结相影响的研究[J]. 硬质合金, 1996, 13(4): 196-200. [17] POLINI R, DELOGU M, MARCHESELLI G.Adherent diamond coatings on cemented tungsten carbide substrates with new Fe/Ni/Co binder phase[J]. Thin Solid Films, 2006, 494(1): 133-140. [18] 魏秋平, 余志明, 马莉, 等. 化学脱钴对硬质合金沉积金刚石薄膜的影响[J]. 中国有色金属学报, 2008, 18(6): 1070-1081. [19] 陈磊, 玄真武, 董长顺. 硬质合金表面粗糙度对金刚石涂层附着力影响的研究[J].超硬材料工程, 2009, 21(2): 8-11. [20] 熊超. 金刚石涂层刀具的膜基结合力改善途径与性能研究[D]. 广州: 华南理工大学, 2018. [21] SOMMER M, HAUBNER R, LUX B.Diamond deposition on copper treated hardmetal substrates[J]. Diamond & Related Materials, 2000, 9(3): 351-357. [22] 邓全, 满卫东, 杨自立, 等. 去Co深度及薄膜厚度对金刚石薄膜-硬质合金附着力的影响[J]. 硬质合金, 2018, 35(2): 86-94. [23] 刘伟, 满卫东, 吕继磊, 等. 植晶工艺对金刚石涂层硬质合金刀具切削性能的影响[J]. 硬质合金, 2017, 34(3): 167-173. [24] LINNIK S A, GAYDAYCHUK A V, OKHOTNIKOV V V.Improvement to the adhesion of polycrystalline diamond films on WC-Co cemented carbides through ion etching of loosely bound growth centers[J]. Surface and Coatings Technology, 2018, 334: 227-232. [25] 俞世吉, 邬钦崇, 张志明, 等. WC-Co硬质合金表面MW-PCVD制备金刚石薄膜去钴预处理的研究[J]. 高技术通讯, 1998(4): 35-38. [26] PETRIKOWSKI K, FEBKER M, GABLER J, et al.Study of CrNx and NbC interlayers for HFCVD diamond deposition onto WC-Co substrates[J]. Diamond & Related Materials, 2013, 33: 38-44. [27] HEI H J, MA J, LI X J, et al.Preparation and performance of chemical vapor deposition diamond coatings synthesized onto the cemented carbide micro-end mills with a SiC interlayer[J]. Surface and Coatings Technology, 2015, 261: 272-277. [28] HEI H J, SHEN Y Y, MA J, et al.Effect of substrate temperature on SiC interlayers for diamond coatings deposition on WC-Co substrates[J]. Vacuum, 2014, 109: 15-20. [29] RAGHUVEER M S, YOGANAND S N, JAGANNADHAM K, et al.Improved CVD diamond coatings on WC-Co tool substrates[J]. Wear, 2002, 253: 1194-1206. [30] POLINI R, BARLETTA M, CRISTOFANILLI G.Wear resistance of nano-and micro-crystalline diamond coatings onto WC-Co with Cr/CrN interlayers[J]. Thin Solid Films, 2010, 519(5): 1629-1635. [31] WEI Q P, YU Z M, MA L, et al.The effects of temperature on nanocrystalline diamond films deposited on WC-13 wt.% Co substrate with W-C gradient layer[J]. Applied Surface ence, 2009, 256(5): 1322-1328. [32] 邓福铭, 陈立, 刘畅. 不同沉积功率对CVD金刚石涂层性能的影响[J]. 金刚石与磨料磨具工程, 2015, 35(1): 1-5. [33] 张婷. HFCVD法制备金刚石膜以及工艺参数对薄膜的影响[D].郑州:河南工业大学,2016. [34] 陈振环, 徐菊芳, 陈志明. 实验参数对热丝CVD人造金刚石膜生长的影响[J]. 科技资讯, 2011(27): 92-93. [35] 赵云. 硬质合金基体上金刚石涂层沉积条件对其结合性能的影响[D]. 南京: 南京航空航天大学, 2011. [36] 许青波, 王传新, 王涛, 等. 热丝化学气相沉积纳米金刚石修复损伤PCD刀具的研究[J]. 真空科学与技术学报, 2018, 38(5): 390-395. [37] 唐壁玉, 刘劲松. 生长温度对CVD金刚石薄膜的影响[J]. 材料开发与应用, 1997(6): 11-15. [38] SALGUEIREDO E, AMARAL M, NETO M A, et al.HFCVD diamond deposition parameters optimized by a Taguchi Matrix[J]. Vacuum, 2011, 85(6): 701-704. [39] 邓福铭, 邹波, 刘畅, 等. 沉积气压对CVD金刚石涂层质量的影响[J]. 金刚石与磨料磨具工程, 2013, (5): 1-4. [40] 户海峰, 徐锋, 左敦稳, 等. 硬质合金基体金刚石涂层沉积工艺研究[J]. 机械制造与自动化, 2013, 42(5): 44-47. [41] WANG X C, ZHAO T Q, SUN F H, et al.Comparisons of HFCVD diamond nucleation and growth using different carbon sources[J]. Diamond & Related Materials, 2015, 54: 26-33. [42] 邓福铭, 薄祥, 许晨阳, 等. CVD样品台旋转对沉积金刚石涂层的影响[J]. 人工晶体学报, 2019, 48(10): 1879-1885. [43] 魏秋平, 王玲, 余志明, 等. 进气方式对热丝CVD制备金刚石薄膜的影响[J]. 中国表面工程, 2009, 22(6): 36-41. [44] CHATTOPADHYAY A, SARANGI S K, CHATTOPADHYAY A K.Effect of negative dc substrate bias on morphology and adhesion of diamond coating synthesised on carbide turning tools by modified HFCVD method[J]. Applied Surface Science, 2008, 255(5): 1661-1671. [45] 翟豪, 龙芬, 余志明, 等. 退火和氧化性酸处理对HFCVD法制备金刚石薄膜质量的影响[J]. 粉末冶金材料科学与工程, 2013, 18(4): 539-545. [46] HASSAN I U, REGO C A, ALI N, et al.An investigation of the structural properties of diamond films deposited by pulsed bias enhanced hot filament CVD[J]. Thin Solid Films, 1999, 355: 134-138. [47] 邓福铭, 赵晓凯, 吴学林, 等. 碳源浓度对CVD金刚石涂层质量的影响[J]. 硬质合金, 2013, 30(2): 59-65. [48] 陆峰, 王筱晴, 查丽琼, 等. 不同碳源浓度金刚石涂层刀具切削石材的性能研究[J]. 人工晶体学报, 2018, 47(9): 1873-1880. [49] 孙方宏, 陈明, 张志明. 碳源浓度对金刚石薄膜涂层刀具性能的影响[J]. 金刚石与磨料磨具工程, 2000(5): 3-6. [50] 王宜豹, 邱慧敏, 张妹, 等. 多层金刚石薄膜制备工艺和应力分析研究[J]. 山东科学, 2020, 33(1): 61-67. [51] 代凯, 王传新, 范咏志, 等. 低浓度氩气对金刚石薄膜的影响及机理研究[J]. 真空科学与技术学报, 2017, 37(3): 272-276. [52] RAKHA S A, XINTAI Z, ZHU D, et al.Effects of N2 addition on nanocrystalline diamond films by HFCVD in Ar/CH4 gas mixture[J]. Current Applied Physics, 2010, 10(1): 171-175. [53] 翁俊, 刘繁, 孙祁, 等. 氮气体积浓度对高微波功率沉积金刚石膜的影响[J]. 金刚石与磨料磨具工程, 2015, 35(3): 23-28. [54] 肖雄. 纳米金刚石厚膜在钼基体上的生长研究[D]. 武汉: 武汉工程大学, 2017. |
| [1] | ZHENG Cai-guo, CHEN Qing-chuan, NIE Jun-wei, LI Min-jiu, CHEN Mei-yan. Study on Characteristics of Plasma Polished Quartz Glass [J]. VACUUM, 2020, 57(4): 72-76. |
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