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真空 ›› 2019, Vol. 56 ›› Issue (2): 78-80.doi: 10.13385/j.cnki.vacuum.2019.02.16

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第二十讲 真空离子镀膜

张以忱   

  1. 东北大学,辽宁 沈阳 110004
  • 出版日期:2019-03-25 发布日期:2019-04-18

  • Online:2019-03-25 Published:2019-04-18

中图分类号: 

  • O484
[1] 徐均琪 , 李候俊 , 李 绵 , 王 建 , 苏俊宏 , 基玛·格拉索夫 . 热蒸发沉积 TiO2 薄膜的光学及激光损伤特性[J]. 真空, 2019, 56(1): 39-44.
[2] 李 琳 , 李成明 , 杨功寿 , 胡西多 , 杨少延 , 苏 宁 . 三层热壁金属有机化学气相外延流场计算机模拟[J]. 真空, 2019, 56(1): 34-38.
[3] 王晓然, 马艳彬, 段 苹, 李如永, 庄碧辉, 崔 敏, 原安娟, 邓金祥. Mg 掺杂浓度对射频磁控溅射制备 Ga2O3 薄膜性质的影响[J]. 真空, 2018, 55(6): 68-72.
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