250mm口径低温泵设计*

doi:10.13385/j.cnki.vacuum.2020.02.03

真空 ›› 2020, Vol. 57 ›› Issue (2): 13-16.doi: 10.13385/j.cnki.vacuum.2020.02.03

250mm口径低温泵设计^*

曾环^1,2, 邓家良^1,2, 孙志和^1,2

1.中国电子科技集团第十六研究所,安徽合肥 230088;
2.安徽万瑞冷电科技有限公司,安徽合肥 230088

收稿日期:2019-01-02 出版日期:2020-03-25 发布日期:2020-04-24
作者简介:曾环(1987-),女,安徽省宿州市萧县,硕士,工程师。
基金资助:
*极大规模集成电路制造装备及成套工艺(2014ZX02001-003)

Design of the 250mm Caliber Cryopump

ZENG Huan^1,2, DENG Jia-liang^1,2, SUN Zhi-he^1,2

1.China Electronic Technology Corporation 16th Institute, Hefei 230088, China;
2.Vacree Technology Co., Ltd, Hefei 230088, China

Received:2019-01-02 Online:2020-03-25 Published:2020-04-24

摘要/Abstract

摘要： 介绍了250mm口径低温泵的设计及计算,详细列出壳体、吸附阵、冷屏、障板等部件的设计。文中对壳体强度,冷屏、障板和冷凝板的热负荷进行详细计算。通过对冷屏、障板和吸附阵进行温度场分析,校核了计算的准确性,同时又为实际试验提供了理论依据和温度参考。

关键词: 低温泵, 制冷机, 吸附阵, 热负荷, 有限元分析

Abstract: This paper introduces the design and calculation of the 250mm caliber cryopump, and details the design of components such as pump body, adsorption array, radiation shield and louvers. The strength of the shell and the heat load of the cold screen and the baffles and condensing plates are calculated in detail. By analyzing the temperature field of the cold screen, the barrier plate and the adsorption array, the accuracy of the calculation is checked, and the theoretical basis and temperature reference are provided for the actual test.

Key words: cryopump, refrigerator, adsorption array, thermal load, finite element analysis

中图分类号:

TB752+.53

曾环, 邓家良, 孙志和. 250mm口径低温泵设计^*[J]. 真空, 2020, 57(2): 13-16.

ZENG Huan, DENG Jia-liang, SUN Zhi-he. Design of the 250mm Caliber Cryopump[J]. VACUUM, 2020, 57(2): 13-16.

参考文献 15

[1]	吴德忠, 周利娟. 新型HIRFL-800低温泵的设计及热负荷的计算[J]. 低温工程, 2002, 126(3): 48-52.
[2]	彭楠, 熊联友, 刘立强, 等. 低温真空泵辐射挡板流导几率的计算[J]. 低温工程, 2006, 22(6): 21-24.
[3]	Man-Sik Myeong, Yun-Jae Kim, Peter J Budden.Limit load interacting of cracked branch junctions under combined pressure and bending[J]. Engineering Fracture Mechanics, 2012, 86(5): 1-12.
[4]	武义锋, 徐中堂. DN900LN2型低温泵的研制[J]. 真空与低温, 2013, 19(2): 77-81.
[5]	周家屹, 孙庆艳, 许令顺, 等. 低温泵用吸附材料的研究概述[J]. 低温与超导, 2014, 17(1): 29-34.
[6]	陈珑彦, 徐永雨. 基于ANSYS的高真空超低温泵池的应力有限元分析[J]. 机械工程与自动化, 2016, 196(3): 81-82.
[7]	赵月帅, 刘振春, 张广慧, 等. 环境设备用自屏蔽低温泵的研制与性能测试[J]. 南京工程学院学报(自然科学版), 2017, 15(4): 32-35.
[8]	査方正, 李勇, 李强, 等. HL-2M装置低温冷凝泵在抽气工况下的热负荷分析[J]. 核聚变与等离子体物理, 2018, 38(3): 287-292.
[9]	谢韩, 宋云涛, 王松可. ITER低温泵外部容器的结构设计与应力分析[J]. 核聚变与等离子体物理, 2016, 36(2): 181-187.
[10]	孙立臣, 赵月帅, 李明利, 等. 空间环境设备用大口径制冷机低温泵研制技术现状和发展[J]. 北京卫星环境工程研究院, 2018, 55(1)1-6.
[11]	高香院编著. 现代低温泵[M]. 西安: 西安交通大学出版社, 1990.
[12]	徐烈, 李兆慈, 孙恒, 等. 低温真空技术[M]. 北京: 机械工业出版社, 2007. 9.
[13]	达道安. 真空设计手册(修订版)[M]. 北京: 国防工业出版社, 1991. 11.
[14]	徐成海, 张世伟, 谢元华, 等. 真空低温技术与设备[M]. 北京: 冶金工业出版社, 2007.
[15]	安徽万瑞冷电科技有限公司. 一种新型低温泵冷伞: 中国, ZL201520596960. 9[P]. 2015. 12. 23.

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[1]	李得天, 成永军, 张虎忠, 孙雯君, 王永军, 孙健, 李刚, 裴晓强. 碳纳米管场发射阴极制备及其应用研究[J]. 真空, 2018, 55(5): 1 -9 .
[2]	周彬彬, 张建, 何剑锋, 董长昆. 基于 CVD 直接生长法的碳纳米管场发射阴极[J]. 真空, 2018, 55(5): 10 -14 .
[3]	李志胜. 空间环境下超大型红外定标用辐射屏蔽门的研制[J]. 真空, 2018, 55(5): 66 -70 .
[4]	郑列, 李宏. 200kV/2mA 连续可调直流高压发生器的设计[J]. 真空, 2018, 55(6): 10 -13 .
[5]	柴晓彤, 汪亮, 王永庆, 刘明昆, 刘星洲, 干蜀毅. 基于 STM32F103 单片机的单泵运行参数数据采集系统[J]. 真空, 2018, 55(5): 15 -18 .
[6]	孙立志, 闫荣鑫, 李天野, 贾瑞金, 李征, 孙立臣, 王勇, 王健, 张强. 放样氙气在大型收集室内分布规律研究[J]. 真空, 2018, 55(5): 38 -41 .
[7]	黄思 , 王学谦 , 莫宇石 , 张展发 , 应冰 . 液环压缩机性能相似定律的实验研究[J]. 真空, 2018, 55(5): 42 -45 .
[8]	纪明, 孙亮, 杨敏勃. 一种用于对月球样品自动密封锁紧的设计[J]. 真空, 2018, 55(6): 24 -27 .
[9]	李民久, 熊涛, 姜亚南, 贺岩斌, 陈庆川. 基于双管正激式变换器的金属表面去毛刺 20kV 高压脉冲电源[J]. 真空, 2018, 55(5): 19 -24 .
[10]	刘燕文, 孟宪展, 田宏, 李芬, 石文奇, 朱虹, 谷兵, 王小霞 . 空间行波管极高真空的获得与测量[J]. 真空, 2018, 55(5): 25 -28 .

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Design of the 250mm Caliber Cryopump

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[2]	赵月帅, 孙立臣, 邵容平, 闫荣鑫, 孙伟, 李征. DN1250 液氮屏蔽型制冷机低温泵的研制与性能测试[J]. 真空, 2019, 56(1): 1-5.
[3]	申付波, 王杰, 翟悦, 周志鹏. 轻型低温吸附床壳体的研究与优化设计[J]. 真空, 2018, 55(6): 42-44.