真空 ›› 2018, Vol. 55 ›› Issue (5): 25-28.doi: 10.13385/j.cnki.vacuum.2018.05.05
刘燕文 1,孟宪展 2,田 宏 1,李 芬 1,石文奇 1,朱 虹 1,谷 兵 1,王小霞 1
LIU Yan-wen1, MENG Xian-zhan2, TIAN Hong1, LI Fen1, SHI Wen-qi1, ZHU Hong1, GU Bing1
摘要: 空间行波管广泛应用于雷达、卫星通信等方面,在器件制造过程中,真空是空间行波管工作的 基础条件。利用极高真空排气设备获得了极限真空优于 5×10-9Pa 的空间行波管;采用四级质谱计分析了 空间行波管的排气过程和极限真空状态下的残气质谱,并由此确定了空间行波管经济可行的烘烤排气时 间。利用四极质谱计对空间行波管进行了检漏实验,结果表明四极质谱计具有很高的灵敏度,非常适合极 高真空的检漏。建立了放气量极低的测量空间行波管真空度的测试平台。对空间行波管的老练、高低温实 验、存储等过程的真空度进行了测试。空间行波管在进行老练时,管内真空度下降约一个数量级,经过 140h 老练后,在老练离子泵的抽气作用下,管内真空度上升到 5.0×10-8Pa,这时去掉老练离子泵,其真空 度基本保持不变。最后进行了高低温冲击实验,并在室温下存储 6 个月,真空保持良好。这些结果为分析 空间行波管质量提供了很好的依据。
中图分类号:
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