真空 ›› 2021, Vol. 58 ›› Issue (3): 35-38.doi: 10.13385/j.cnki.vacuum.2021.03.07
罗军文
LUO Jun-wen
摘要： 本文详细介绍了大型金属卷材表面改性连续卷绕镀膜生产线的工作原理、结构组成、技术特点和主要创新设计要点。分析并指出影响大卷径宽幅金属卷材镀膜质量、生产效益的主要因素和解决途径。重点论述了提高镀膜速度和膜层附着力的科学依据,解决了当前金属卷材连续卷绕镀膜生产线中出现的镀膜效率低,均匀性差,光谱L、 a、b值光学性能不稳定等难题。自主研发的AEG电弧离子刻蚀辅助系统和柱状阴极电弧离子蒸发技术与中频磁控溅射镀膜技术综合应用,使镀膜沉积速率提高1.3~2倍,整卷镀膜L值色差波动不大于±1.0,a值色差波动不大于±1.5,b值色差波动不大于±1.8。
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| [1] 达道安. 真空设计手册[M]. 第3版. 北京: 国防工业出版社, 2004. [2] 刘玉魁. 真空工程设计[M]. 北京: 化学工业出版社, 2016. [3] 徐成海. 真空工程技术[M]. 北京: 化学工业出版社, 2006. [4] 李云奇. 真空镀膜技术与设备[M]. 沈阳: 东北工学院出版社, 1989. [5] 张以忱. 真空镀膜技术[M]. 北京: 冶金工业出版社, 2009. [6] 李云奇. 真空镀膜[M]. 北京: 化学工业出版社, 2012. [7] 盛卫峰, 周一届, 姜旻. 印刷机械中的张力控制[J]. 包装工程, 2001, 22(2): 4-7. [8] 郦振声, 杨明安. 现代表面工程技术[M]. 北京机械工业出版社, 2010. [9] 高德铨. 国外高真空卷绕镀膜设备发展现状[J]. 包装工程, 1997, 18(2): 120-122. [10] 杨树本. 高真空卷绕式硫化锌镀膜设备的研制[J]. 真空, 2005, 42(5): 26-28. [11] 罗志明, 李志荣, 等. 一种无液滴多弧蒸发离化源于结构[P]. 中国专利: 201710352918.6. [12] 李志荣, 罗志明, 等. 一种金属箔带卷绕式真空镀膜连续生产线[P]. 中国专利: 201921605837.3. [13] 李志荣, 李志方, 等. 一种组合磁场的矩形平面阴极电弧蒸发源[P]. 中国专利: 201110425157.5. [14] 李迎春, 刘江江, 李志荣. 一种弧光电子源辅助离子氮化工艺[P]. 中国专利: 201910130180.8. [15] 李志荣, 冯晓庭, 等. 一种大型罐体内壁镀膜用真空阴极电弧镀膜机[P]. 中国专利: 201721418191.9 [16] 李志荣, 李迎春, 等. 一种PVD镀膜应用的弧光电子源增强焊光放电表面活化工艺[P]. 中国专利: 201910129819.0. |
| [1] | 余华俊, 赵习军, 武瑞军. 磁控溅射中旋转阴极的对角效应及其解决途径[J]. 真空, 2021, 58(3): 51-54. |
| [2] | 王资璐, 郝孟一, 李臻熙, 李建军, 侯景岳. 钛合金真空自耗熔炼中的风险识别及预防措施[J]. 真空, 2021, 58(3): 71-76. |
| [3] | 吴彦超, 刘豫瑶, 刘洋, 高晟元, 黄美东. 调制比对电弧离子镀Cr/TiN纳米多层膜力学性能的影响*[J]. 真空, 2021, 58(2): 10-14. |
| [4] | 柴昊, 贾军伟, 王斌, 李鹏, 崔爽, 冯旭, 李伟, 刘展, 李绍飞, 陈权. 紧凑型微波ECR等离子体源的设计及其特性研究[J]. 真空, 2021, 58(1): 6-9. |
| [5] | 白彪坤, 陈叔平, 陈联, 金树峰, 史庆智, 孟岳. 液氮温度下分子筛的真空吸附特性试验研究[J]. 真空, 2021, 58(1): 45-50. |
| [6] | 余清洲, 张俊, 李斌, 高明燚, 刘明昆, 柴晓彤, 干蜀毅. 空调散热器真空除油干燥箱温度场优化[J]. 真空, 2021, 58(1): 82-85. |
| [7] | 贺平. 复合材料筒体泄漏率测试方法研究[J]. 真空, 2020, 57(6): 54-58. |
| [8] | 刘鲁生, 翟朝峰, 杨兵, 宋昊哲, 于岐, 史丹, 袁子尧, 卢志刚, 陈滨, 周美琪, 李海宁, 喻彪, 黄楠, 姜辛. 金刚石薄膜连续制备的热丝化学气相沉积设备研制[J]. 真空, 2020, 57(6): 1-4. |
| [9] | 钟利, 但敏, 沈丽如, 金凡亚, 陈美艳, 刘彤, 邓稚. 霍尔源溅射清洗工艺对离子镀TiN涂层结合性能的影响[J]. 真空, 2020, 57(6): 5-6. |
| [10] | 龙国梁, 王智荣, 胡浩, 张峰. 关于真空炉强冷换向系统的设计探讨*[J]. 真空, 2020, 57(4): 24-27. |
| [11] | 赵腾, 张虎, 刘向, 吴建龙, 张咪, 周榕平. RH精炼炉用机械真空泵系统漏率测试及其智能化检测[J]. 真空, 2020, 57(4): 28-31. |
| [12] | 王沛, 孙志和, 任琪琛, 丁怀况. 一种液氮温区至室温区电缆进出装置的设计[J]. 真空, 2020, 57(4): 66-71. |
| [13] | 杨飞, 李振海, 李建昌. 固体火箭发动机喷管型面的研究进展*[J]. 真空, 2020, 57(1): 40-47. |
| [14] | 吴乐于. 不同高阻隔复合膜在带有沟槽的真空绝热板上的适用性研究[J]. 真空, 2020, 57(1): 62-66. |
| [15] | 李晓峰, 黄强华, 陈光奇, 何晓冬, 朱鸣. 低温绝热气瓶真空寿命模拟试验研究*[J]. 真空, 2020, 57(1): 56-61. |
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