真空 ›› 2021, Vol. 58 ›› Issue (1): 6-9.doi: 10.13385/j.cnki.vacuum.2021.01.02
柴昊1, 贾军伟1, 王斌2, 李鹏2, 崔爽2, 冯旭3, 李伟1, 刘展1, 李绍飞1, 陈权1
CHAI Hao1, JIA Jun-wei1, WANG Bin2, LI Peng2, CUI Shuang2, FENG Xu3, LI Wei1, LIU Zhan1, LI Shao-fei1, CHEN Quan1
摘要: 地面电推进试验、星载Langmuir探针地面标定等航天任务,均对等离子体参数的校准提出了需求。目前,等离子体参数的校准主要是在稳定的等离子体环境中,通过被测仪器与标准进行量值比对的方式实现,因此,获得稳定的等离子体环境是开展校准技术研究的重要前提。微波ECR源产生的等离子体具有均匀、稳定、可调节范围宽等特点,十分适合应用于等离子体校准中。本文设计研制了永磁型微波ECR等离子体源,并对该源的特性进行了实验研究,获得了该源的空间分布特性、稳定性实验结果。实验结果表明:研制的紧凑型微波ECR源稳定性、重复性均在10%以内,具有作为标准源应用于等离子体校准的潜力。
中图分类号:
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