真空 ›› 2021, Vol. 58 ›› Issue (4): 36-41.doi: 10.13385/j.cnki.vacuum.2021.04.07
郁晋军, 董欣, 刘敏强
YU Jin-jun, DO Xin, LIU Min-qiang
摘要: 本文介绍了一种超高真空大抽速复合分子泵的研制,该型分子泵转子采用了涡轮叶片与螺旋槽式牵引级的复合结构,由整体加工而成。文中重点介绍了复合转子的设计及优化,并对定片隔环一体型结构与复合底盘结构的设计以及改进进行简要介绍。该型复合分子泵的抽速比同口径涡轮分子泵高10%左右,同时具有更高的压缩比与抗前级压力,可以在100Pa的真空压力下启动,排气端不需要匹配较大的前级泵就可满足抽气要求。该型分子泵动平衡性较好,结构简单,集成性较高,整机的制造成本相对涡轮分子泵更低。
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[1] 巴德纯, 杨乃恒. 现代分子泵理论研究与进展[J]. 真空, 1998(2): 1-5. [2] 刘坤,巴德纯,张振厚,等. 现代真空获得设备的最新进展[A]. 广东省真空学会.广东省真空学会2010年年会暨广东省真空与低碳技术交流会论文集[C].广东省真空学会: 广东省真空学会, 2010: 2. [3] 葛明. 立式涡轮分子泵的设计计算[A]. 中国真空学会科技进步奖(1994-2000)得奖人员论文集[C]. 中国真空学会, 2000: 15. [4] 郁晋军, 董欣, 于天化. 高性能复合分子泵: ZL201210057294.2[P].2014-07-09. [5] 董欣, 郁晋军, 于天化. 牵引级复合分子泵: ZL201310195542.4[P].2016-04-06. [6] 董欣, 郁晋军, 刘敏强. 一种分子泵的油路系统: ZL201920844868.8[P].2020-07-03. [7] 杨乃恒. 真空获得设备[M]. 第2版. 北京: 冶金工业出版社, 2001. [8] 屠基元, 杨乃恒. 几率矩阵法计算涡轮分子泵叶列传输几率[J]. 真空, 1986(4): 2-9. [9] 于治明, 巴德纯, 杨乃恒. 直接蒙特卡罗法及其在真空泵性能计算中的应用[J]. 真空, 2006(1): 9-14. [10] 王晓东, 张磊, 巴德纯, 等. 涡轮分子泵抽气性能计算的误差分析[J]. 真空科学与技术学报, 2016(4): 432-435. [11] 孙坤, 张世伟, 韩峰, 等. 涡轮分子泵多级组合叶列模拟算法的比较研究[J]. 真空与低温, 2020(1): 82-86. [12] 王晓东, 金磊, 钟亮, 等. 螺旋槽式牵引泵过渡流态抽气特性的直接蒙特卡洛模拟[J]. 真空科学与技术学报, 2009(5): 517-521. [13] 王晓东, 巴德纯, 杨乃恒. 筒式牵引分子泵离心变形理论分析计算及其简化算法[J]. 真空, 1992(1): 8-14. [14] 郁晋军, 张军安, 刘敏强, 等. 复合分子泵转子离心变形与热变形的有限元分析[J]. 真空, 2011(1): 51-53. [15] 周长城, 胡仁喜, 熊文波. ANSYS 11.0基础与典型范例[M]. 北京: 电子工业出版社, 2007. [16] 董欣, 郁晋军, 于天化. 分子泵钣金定片: ZL201220088788.2[P].2012-12-05. [17] 董选普, 李继强. 铸造工艺学[M]. 北京: 化学工业出版社, 2009. [18] 蒋睿嵩, 汪文虎, 王增强, 等. 航空发动机涡轮叶片精密成形技术及其发展趋势[J]. 航空制造技术, 2016, 59(21): 57-62. [19] 董欣, 郁晋军, 刘敏强. 一种分子泵铸造底盘: ZL201920940409.X[P].2020-08-11. [20] 董欣, 郁晋军, 刘敏强. 一种分子泵底盘: ZL201920844914.4[P].2020-06-09. [21] 卢耀文, 董云宁, 闫睿, 等. 一种基于CF400接口分子泵抽速测试装置[J]. 真空科学与技术学报, 2020(5): 416-420. |
[1] | 宁远涛, 黄 涛, 陈 琦, 张延顺, 齐晓军. 基于有限元的分子泵高速轴系优化设计[J]. 真空, 2019, 56(1): 11-15. |
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