真空 ›› 2021, Vol. 58 ›› Issue (1): 10-14.doi: 10.13385/j.cnki.vacuum.2021.01.03
张骁, 刘招贤, 孟冬辉, 任国华, 王莉娜, 闫荣鑫
ZHANG Xiao, LIU Zhao-xian, MENG Dong-hui, REN Guo-hua, WANG Li-na, YAN Rong-xin
摘要: 多孔石墨烯膜具有渗透率易于调节、稳定性好等特点,可以实现可控纳米渗透元件来作为真空检漏中的标准漏孔材料。本文采用MD模拟进行单层多孔石墨烯渗氦仿真,得到不同方向、大小、形状多孔石墨烯渗氦参数。仿真模拟表明:各方向上石墨烯缺陷缺失碳环数和渗氦率近似可呈线性关系,且各项斜率近似相等;石墨烯缺陷缺失碳环数较少时,不同形状石墨烯缺陷的渗氦率相近,缺陷缺失碳环数较多时需通过对势垒降低的计算和模拟得到渗透增量,进而利用小孔渗透率可以推算大孔渗透率。仿真结果表明多孔石墨烯作为标准漏孔渗透材料的可控性,对渗透实验具有指导意义。
中图分类号:
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