真空计在线校准系统的研制

doi:10.13385/j.cnki.vacuum.2021.03.11

真空 ›› 2021, Vol. 58 ›› Issue (3): 55-58.doi: 10.13385/j.cnki.vacuum.2021.03.11

真空计在线校准系统的研制

田虎林^1,2, 杨振^1,2, 柏向春^1,2, 魏萌萌^1,2, 闫睿^1,2, 王欢^1,2, 卢耀文^1,2

1.北京市真空计量检测工程技术研究中心,北京 100029;
2.北京东方计量测试研究所,北京 100086

收稿日期:2021-02-26 出版日期:2021-05-25 发布日期:2021-06-01
通讯作者: 卢耀文,教授级高工。
作者简介:田虎林（1982-）,河北省保定市人,本科,高级工程师。

Research of Online Calibration System for Vacuum Gauge

TIAN Hu-lin^1,2, YANG Zhen^1,2, BAI Xiang-chun^1,2, WEI Meng-meng^1,2, YAN Rui^1,2, WANG Huan^1,2, LU Yao-wen^1,2

1. Beijing Engineering Research Center of Vacuum Measurement and Test Technology, Beijing 100029, China;
2. Beijing Orient Institute of Measurement and Test, Beijing 100086, China

Received:2021-02-26 Online:2021-05-25 Published:2021-06-01

摘要/Abstract

摘要： 为了解决真空计在线校准的问题,研制出一种真空计在线校准系统。真空计在线校准系统通过优化设计、材料及工艺处理已解决宽量程校准的问题。通过对在线校准技术的研究,采用比较法校准方法,以三台高精度的薄膜真空计和一台高精度电离真空计作为参考标准,解决了校准条件与使用条件基本一致性问题,可以减小量值传递过程产生的不确定度,保证测量的准确性和可靠性。真空计在线校准系统可实现（10⁵~10^-5）Pa范围内的真空计的在线计量,相对扩展不确定度不大于13%。

关键词: 真空计, 在线校准, 校准系统

Abstract: In order to solve the problem for online calibration of vacuum gauge,an online calibration system of vacuum gauge is developed. The online calibration system of vacuum gauge solves the problem of wide range calibration by optimizing design, material and process treatment. Through the research of online calibration technology, the comparison method is adopted. Three high-precision baratrons and one high-precision ionization gauge are used as reference standard to solve the problem that the calibration conditions are basically the same as the application conditions, which can reduce the uncertainty in the process of value transfer and ensure the accuracy and reliability of measurement. The online calibration system can realize the online measurement of vacuum gauge in the range of 10⁵~10^-5Pa. The relative expanded uncertainty is not more than 13%.

Key words: vacuum gauge, online calibration, calibration system

中图分类号:

TB935

田虎林, 杨振, 柏向春, 魏萌萌, 闫睿, 王欢, 卢耀文. 真空计在线校准系统的研制[J]. 真空, 2021, 58(3): 55-58.

TIAN Hu-lin, YANG Zhen, BAI Xiang-chun, WEI Meng-meng, YAN Rui, WANG Huan, LU Yao-wen. Research of Online Calibration System for Vacuum Gauge[J]. VACUUM, 2021, 58(3): 55-58.

参考文献

[1] 达道安. 真空设计手册(第3版)[M]. 北京: 国防工业出版社, 2004: 614-636.
[2] 王欲知, 陈旭. 真空技术[M]. 北京: 北京航空航天大学出版社, 2007: 326-380.
[3] 陆渭林. 计量技术与管理工作指南[M]. 北京: 机械工业出版社, 2018, 10: 74-100.
[4] 国防科工委科技与质量司. 计量技术基础[M]. 北京: 原子能出版社, 2002, 6: 239-279.
[5] 田虎林, 王欢, 付文帅, 等. ZJ-2型热阴极电离规的灵敏度测试分析: 中国真空学会质谱分析和检漏专委会第十六届年会暨中国计量测试学会真空计量专委会第十一届年会论文集[C]. 北京: 中国真空学会, 2011: 221-223.
[6] 田虎林, 魏萌萌, 卢耀文, 等. 真空计在线校准系统的不确定度分析: 中国真空学会质谱分析和检漏专委会第十八届年会暨中国计量测试学会真空计量专委会第十三届年会论文集[C]. 北京: 中国真空学会, 2015: 264-266.
[7] 全国真空技术标准化技术委员会. 真空技术术语: GB/T3163-2007[S]. 中国标准出版社, 2008: 2.
[8] 中国人民解放军总装备部. 测量不确定度的表示及评定: GJB3756A-2015[S]. 总装备部军标出版发行部, 2015: 2.
[9] 全国法制计量管理计量技术委员会. 测量不确定度评定与表示: JJF1059.1-2012[S]. 中国质检出版社, 2013: 2.
[10] 李正海. VCSE-B型真空比对标准装置的研制[J]. 真空与低温, 1994(4): 19l-197.
[11] 李得天, 李正海, 郭美如, 等. 超高/极高真空校准装置的研制[J]. 真空科学与技术学报, 2007(2): 92-96.
[12] 卢耀文, 陈旭, 李得天, 等. 复合型便携式真空计校准装置[J]. 真空, 2013, 50(3): 1-5.
[13] 卢耀文, 陈旭, 李得天, 等. 便携式真空计校准装置[J]. 真空科学与技术学报, 2013, 33(5): 462-467.
[14] 卢耀文, 陈旭, 李得天, 等. 便携式真空漏孔校准装置[J]. 真空科学与技术学报, 2013, 33(12): 1179-1183.
[15] 冯焱, 孙雯君, 成永军, 等. 现场真空校准装置的设计[J]. 真空与低温, 2011, 17(3): 166-169.
[16] HONG S, KHAN W.An overview of low vacuum system for the pressure range from 1 Pa to 133 Pa[J]. Journal of the Vacuum Society of Japan, 2015, 58(2): 69-71.
[17] KHAN W, HONG S, SATAR T, et al.The KRISS primary vacuum gauge calibration standards: a review[J]. Journal of the Vacuum Society of Japan, 2016, 59(8): 222-235.
[18] XI ZH H, LI D T, CHENG Y J, et al.Development of a transportable apparatus for vacuum gauge calibration[J]. Vacuum, 2016, 127: 30-37.
[19] YOSHIDA H, ARAI K, AKIMICHI H, et al.Newly developed standard conductance element for in situ calibration of high vacuum gauges[J]. Measurement, 2012, 45(10): 2452-2455.
[20] CALCATELLI A, RAITERI G, RUMIANO G.The IMGC-CNR flowmeter for automatic measurements of low-range gas flows[J]. Measurement, 2003, 34(2): 121-132.
[21] ŁUKASZ M, MARCIN S.Highly sensitive luminescent pressure sensor for vacuum measurement based on Pr3+:TeO₂-ZnO-Na₂O-La₂O₃ glasses[J]. Materials Letters, 2021, 290: 129492.

Metrics

Viewed

Full text

Abstract

Cited

Shared

Discussed

真空计在线校准系统的研制

Research of Online Calibration System for Vacuum Gauge

摘要/Abstract

引用本文

使用本文

参考文献

相关文章 3

Metrics

本文评价

推荐阅读 0

[1]	王逊. 真空测量技术及航天应用[J]. 真空, 2021, 58(1): 15-18.
[2]	何剑锋, 黄卫军, 董长昆. 新型同轴电极结构碳纳米管场发射电离计[J]. 真空, 2019, 56(6): 12-15.
[3]	李得天, 成永军, 张虎忠, 孙雯君, 王永军, 孙健, 李刚, 裴晓强. 碳纳米管场发射阴极制备及其应用研究[J]. 真空, 2018, 55(5): 1-9.