真空 ›› 2021, Vol. 58 ›› Issue (5): 42-45.doi: 10.13385/j.cnki.vacuum.2021.05.06
张志平, 许忠政, 张黎源, 姜正鹤
ZHANG Zhi-ping, XU Zhong-zheng, ZHANG Li-yuan, JIANG Zheng-he
摘要： 专用电子束熔炼炉需要大抽速、可靠性较高的真空系统,本文简要介绍了专用电子束熔炼炉真空抽气系统的主要性能指标、设计思路和方法、系统组成,对此真空抽气系统进行了详细的计算,并为类似真空设备的研制提供有益参考。
中图分类号:
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