真空 ›› 2022, Vol. 59 ›› Issue (6): 56-59.doi: 10.13385/j.cnki.vacuum.2022.06.10
卢少波, 张吉峰, 韩永超, 杨坤, 唐榕
LU Shao-bo, ZHANG Ji-feng, HAN Yong-chao, YANG Kun, TANG Rong
摘要： 真空度测试仪可在不拆卸真空开关管的前提下,利用离子流与气体压强的比例关系来测量开关管内部的真空度。真空度测试仪在使用前,需要针对不同管型进行标定校准,本文讨论了其动态校准系统的设计和校准方法,包括磁钢工装的设计、强磁场的防护,以及特殊升降机构的设计等。校准系统由校准室、超高真空系统、磁场线圈、加热装置、升降系统和真空度测试仪等组成。该校准系统利用动态对比法,在抽气和充气动态平衡时,获得标准真空规的真空度和被测真空开关管的离子流,形成校准对比曲线,实现了快速、高精度和宽量程的校准测试。
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