真空 ›› 2022, Vol. 59 ›› Issue (6): 60-64.doi: 10.13385/j.cnki.vacuum.2022.06.11
方有维, 刘林, 俞世吉, 李玉涛
FANG You-wei, LIU Lin, YU Shi-ji, LI Yu-tao
摘要： 利用离子束辅助沉积技术在Ba-W阴极表面上分别沉积金属钼膜和铪膜,以模拟栅控行波管中钼栅极和铪栅极表面吸附阴极蒸发物质时的表面状态。研究了这两种栅极表面微观结构和成分的变化,并测试了其表面热电子发射能力和二次电子发射系数。实验结果表明,铪栅极表面吸附的阴极发射物质要远少于钼栅极,用金属铪作栅极材料能有效抑制栅极电子发射。
中图分类号:
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