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真空 ›› 2024, Vol. 61 ›› Issue (1): 58-63.doi: 10.13385/j.cnki.vacuum.2024.01.09

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特种合金生产过程中VIDP炉真空系统分析及优化应用

张万福, 李强, 李军, 刘嘉学, 王德洪, 罗俊义   

  1. 安泰科技股份有限公司,北京 101318
  • 收稿日期:2023-08-14 出版日期:2024-01-25 发布日期:2024-01-24
  • 作者简介:张万福（1979-）,男,青海省化隆县人,本科,工程师。

Analysis and Optimization Applications of Vacuum System for VIDP Furnace During Special Alloy Manufacturing Process

ZHANG Wan-fu, LI Qiang, LI Jun, LIU Jia-xue, WANG De-hong, LUO Jun-yi   

  1. Advanced Technology & Materials Co., Ltd., Beijing 101318, China
  • Received:2023-08-14 Online:2024-01-25 Published:2024-01-24

摘要： 结合特种合金实际生产过程,从设备配置、抽空能力等方面对德国ALD公司VIDP炉真空系统进行分析,并给出了若干优化应用措施。提出将罗茨泵的启停间隙控制在120 ~180 s;低真空系统两套并联泵组的模式开关开启阈值分别设定为1 000 Pa和2 500 Pa;根据特种合金易挥发的特性,给出罗茨泵各部位维修保养周期（3~12个月不等）,以及合金熔炼过程中充氩破空的具体操作流程;最后针对VIDP-300型炉的真空系统提出提升抽空能力的改造建议。

关键词: VIDP炉, 真空系统优化, 真空泵组, 特种合金

Abstract: Combining with the manufacturing process of special alloy, the vacuum system of VIDP furnace from ALD was analyzed according to the configuration and vacuum pumping capacity, and several optimization application measures were proposed. The interval time of Roots pump is set to 120-180 s. The starting up threshold of two paralleling pump units of low vacuum system is set to 1 000 Pa and 2 500 Pa. Different maintenance period (3-12 months) for different components of Roots pump and the specific operation process of filling argon to break the vacuum during alloy melting are provided according to volatile characteristics of special alloy. At last, suggestions for improving the ability of vacuum system of the VIDP-300 furnace are proposed.

Key words: VIDP furnace, vacuum system optimization, vacuum pump unit, special alloy

中图分类号:  TF138

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