真空 ›› 2024, Vol. 61 ›› Issue (2): 47-52.doi: 10.13385/j.cnki.vacuum.2024.02.08
贾子朝1,2, 郭志伟1,2, 高学林1
JIA Zi-zhao1,2, GUO Zhi-wei1,2, GAO Xue-lin1
摘要： 电子束的高精度传输控制对于确保电子枪在金属熔炼、蒸发镀膜及电子束焊接等领域的可靠应用具有重要意义。针对电子束在金属物料蒸发环境中的传输控制技术开展研究,基于CST粒子仿真分析软件建立了30 kV电子束偏转模型,分析了偏转装置结构及位置参数变化对电子束分布的影响规律,通过仿真设计优化得到了满足需求的电子束偏转控制参数与结构。试验验证表明该结构下的电子束传输轨迹可控,建立的30 kV电子束偏转系统满足要求。
中图分类号: TF134
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