真空 ›› 2020, Vol. 57 ›› Issue (4): 1-5.doi: 10.13385/j.cnki.vacuum.2020.04.01
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周刚1, 吕凯1, 刘远鹏2, 余云鹏1, 徐从康1, 王江涌1
ZHOU Gang1, LV Kai1, LIU Yuan-peng2, YU Yun-peng1, XU Cong-kang1, WANG Jiang-yong1
摘要： 本文首先通过脉冲射频辉光放电发射光谱定量表征了自然生长在Si（111）基片上约1nm的SiO2膜,表明射频辉光放电发射光谱具有纳米级别的深度分辨率。随后用原子力显微镜和分光光度计对一款含有Ag层的柔性光学功能薄膜进行了表征,并利用脉冲射频辉光放电发射光谱,在不同的工作条件下对其进行了深度剖析。最后利用原子混合-粗糙度-信息深度模型对所测量的Ag深度谱进行了定量分析,获得了不同测量条件下Ag深度谱的深度分辨率,由此确定了最佳的脉冲射频辉光放电发射光谱工作条件,对获得柔性功能薄膜高分辨率深度谱具有指导意义。
中图分类号:
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