真空 ›› 2021, Vol. 58 ›› Issue (2): 10-14.doi: 10.13385/j.cnki.vacuum.2021.02.03
吴彦超, 刘豫瑶, 刘洋, 高晟元, 黄美东
WU Yan-chao, LIU Yu-yao, LIU Yang, GAO Sheng-yuan, HUANG Mei-dong
摘要: 采用电弧离子镀技术,通过改变调制比沉积Cr/TiN纳米多层膜。利用扫描电子显微镜、原子力显微镜、X射线衍射仪、纳米压痕仪研究了调制比对Cr/TiN纳米多层膜表面形貌、微观结构以及力学性能的影响。结果表明,纳米多层膜表面致密、平滑均匀,膜层与基底结合良好,膜层综合力学性能优异,出现明显的纳米效应和界面效应。当调制比为2∶3时,纳米多层膜的硬度达最大值33.22GPa。
中图分类号:
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