真空 ›› 2020, Vol. 57 ›› Issue (3): 37-41.doi: 10.13385/j.cnki.vacuum.2020.03.09
马玉山1, 常占东1, 刘海波1, 贾华1, 岳玲1, 徐喜龙1, 巩春志2, 田修波2
MA Yu-shan1, CHANG Zhan-dong1, LIU Hai-bo1, JIA Hua1, YUE Ling1, XU Xi-long1, GONG Chun-zhi2*, Tian Xiubo2
摘要： 针对高端阀门内径20mm导向套内壁DLC处理,采用高频高压脉冲电源,分别研究了氩气和混合气气氛下脉冲电压、脉宽、频率以及工作气压等参数对管内空心阴极放电伏安特性的影响规律。结果表明:轴向对齐的五个小管内均实现了空心阴极放电,氩气条件下放电电流表现出明显空心阴极放电特征,而混合气条件下电流幅值较为平整。脉冲电压或气压的提高有利于提高放电电流,而脉冲频率的增加会使得峰值电流略有下降,脉宽的增加使得单纯氩气条件下电流峰值逐渐增加,而对于混合其他条件下的峰值电流影响不大,仅使平均电流增加。固定气压10Pa条件下,乙炔流量的变化对放电电流的影响不大,有利于扩大DLC薄膜沉积的工艺窗口范围。以上研究结果为高端阀门小直径导向套等内壁DLC薄膜制备提供工艺基础。
中图分类号:
| [1] Zheng Z J, Ou G F, Ye H J, et al.Investigation on failure process and structural optimization of a high-pressure letdown valve[J]. Engineering Failure Analysis, August, 2016(66): 223-239. [2] 李胜亭. 神华煤直接液化项目阀门管道冲蚀磨损及处理措施[J]. 内蒙古石油化工, 2016(7): 36-42. [3] 偶国富, 饶杰, 章利特, 等. 煤液化高压差调节阀空蚀/冲蚀磨损预测[J]. 摩擦学学报, 2013, 33(2): 155-161. [4] 张宏, 熊诗波, 梁义维, 等. 液压阀冲蚀磨损特性分析与结构探讨[J]. 煤炭学报, 2008, 33(2): 214-217. [5] 崔忠圻. 金属学与热处理[M]. 北京: 机械工业出版社, 1999: 315. [6] 黄可, 马廷灿. 日本NEDO 先进制造研究项目概要[J]. 科学新闻, 2008:12-14. [7] 高立. 橡树岭的表面改性中心[J]. 国外核新闻, 1993(4):17-18. [8] Parsi M, Najmi K, Najafifard F, et al.A comprehensive review of solid particle erosion modeling for oil and gas wells and pipelines applications[J]. Journal of Natural Gas Science and Engineering, 2014, 21: 850-873. [9] 王勇, 张耀锋, 尉伟, 等. 不锈钢管道溅射镀TiN薄膜实验研究[J]. 中国科学技术大学学报. 2007, 37(4-5): 509-513. [10] 金凡亚, 王珂, 赵嘉学, 等. 内表面等离子体增强化学气相沉积TiN涂层研究[J]. 金属热处理. 2008, 33(8): 93-95. [11] 石昌仑, 张敏, 林国强. 脉冲偏压对电弧离子镀深管内壁沉积TiN 薄膜的影响[J]. 真空科学与技术学报. 2007, 27(6): 517-521. [12] 尹利勇, 温小琼, 王德真. 细长金属管内产生的直流辉光等离子体发射光谱诊断[J]. 光谱学与光谱分析, 2008, 28(12): 2745-2748. [13] Lusk D, Gore M, Boardman W, et al.Thick DLC films deposited by PECVD on the internal surface of cylindrical substrates[J]. Diamond & Related Materials, 2008, 17: 1613-1621. [14] Wei R .Development of new technologies and practical applications of plasma immersion ion deposition(PIID)[J]. Surface & Coatings Technology, 2010, 204(18):2869-2874. [15] 吴明忠, 田修波, 李慕勤, 等. 笼网型空心阴极氩气放电特性研究[J]. 真空科学与技术学报, 2015, 35(3): 323-329. |
| [1] | 岳玲, 石月娟, 马玉山, 刘海波, 周永兴, 张明明, 巩春志, 田修波. 内径20mm导向套筒内壁处理(1):空心阴极氩气放电特性研究*[J]. 真空, 2020, 57(2): 53-57. |
|