真空 ›› 2020, Vol. 57 ›› Issue (5): 57-60.doi: 10.13385/j.cnki.vacuum.2020.05.12
崔寓淏, 窦仁超, 师立侠, 刘兴悦
CUI Yu-hao, DOU Ren-chao, SHI Li-xia, LIU Xing-yue
摘要： 利用蒙特卡洛方法对电离真空规所在不同位置所测得的系统真空度进行数值模拟。建立了真空容器、规管安装位置以及真空泵入口的几何模型,考虑了系统材料放气,计算了电离真空规安装在系统不同位置所测得的真空度,计算了电离真空规探头与连接法兰管道口之间距离对测量结果的影响。研究结果表明：相比于电离规安装位置,电离规探头与法兰管道口之间距离H对电离真空规的测量结果影响更为明显。本文为电离真空规法兰短管长度设计以及真空系统实际真空度的预判提供理论依据。
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