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真空 ›› 2018, Vol. 55 ›› Issue (5): 51-57.doi: 10.13385/j.cnki.vacuum.2018.05.11

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阳极层离子源的发展及应用

冉 彪,李刘合   

  1. 北京航空航天大学 机械工程及自动化学院,北京 100191
  • 收稿日期:2018-05-23 出版日期:2018-09-25 发布日期:2018-10-16
  • 作者简介:冉 彪(1994-),男,重庆市丰都人,硕士生。
  • 基金资助:
    装备预研领域基金(61409230602)。

The development and application of anode layer ion source

RAN Biao, LI Liu-he   

  1. School of Mechanical Engineering & Automation, Beihang University, Beijing 100191, China
  • Received:2018-05-23 Online:2018-09-25 Published:2018-10-16

摘要: 阳极层离子源结构简单,束流密度大,离子能量可控,在大面积表面改性处理方面具有独特的 优势,还可应用于离子束辅助沉积、基片刻蚀和表面清洗等领域。本文回顾了阳极层离子源的起源和发展 历程,介绍了阳极层离子源的工作原理和研究现状,讨论了阳极层离子源的电磁场的设计、电磁场模拟和 气体放电模拟等关键设计方法,概述了阳极层离子源的应用现状,并对阳极层离子源的发展和应用前景 进行了展望。

关键词: 阳极层离子源, 电磁场, 等离子体, 表面改性

Abstract: The anode layer ion source, with simple structure, high beam density and controllable ion energy, can be applied for surface modification especially in large area. It can be also applied for applications of ion beam assisted deposition, thin film etching and surface cleaning. This paper reviews the history and development of anode layer ion source. It introduces the principles of anode layer ion source and research status, discusses its key designs, including the design requirements of magnetic field, electromagnetic field and gas discharge simulation. Finally, it summarizes the applications and future developments of anode layer ion source.

Key words: anode layer ion source, electromagnetic field, plasma, surface modification

中图分类号: 

  • TN305.8
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