真空 ›› 2019, Vol. 56 ›› Issue (5): 12-20.doi: 10.13385/j.cnki.vacuum.2019.05.03
张志军, 张世伟, 韩进, 徐成海
ZHANG Zhi-jun, ZHANG Shi-wei*, HAN Jin, XU Cheng-hai
摘要： 本文简述扩散泵的原理、特点、分类、用途,回顾国内扩散泵发展的历史进程,分析扩散泵的现实水平、状况,探讨扩散泵未来的发展前景。
中图分类号:
| [1] 王铭朴. 对k-200扩散泵结构和性能的几点分析[J]. 真空技术报导,1973(3):42-47. [2] 罗云汉. K-150 K-200 扩散泵的设计改进[J]. 真空技术报导,1973(Z1):11-14. [3] 北京仪器厂. 国外机械真空泵、油扩散泵概况[J]. 真空技术报导,1973(4):1-6. [4] 上海曙光机械厂. 国外油扩散泵、钛泵近况[J]. 真空技术报导,1973(4):7-13. [5] 张国孝,耿立华. 200口径新型油扩散泵的研制[J]. 真空技术报导,1973(4):22-27. [6] 龚求初. 真空泵国内外发展概况及对国内今后发展的粗浅看法[J]. 真空技术报导,1973(5):1-23. [7] 崔承林. K-400油扩散泵的改进设计[J]. 真空技术报导,1974(1):9-13. [8] 可庆英. 降低油扩散泵返油率的试验研究[J]. 真空技术报导,1974(2):7-14. [9] 张国孝, 耿立华. 多级扩散泵提高抽速方法的探讨[J]. 真空技术报导,1974(Z1):29-42. [10] 沈阳真空技术研究所行业情报室. 国外真空获得设备概况[J]. 真空技术报导,1977(3):33-47. [11] M.H.Hablanina. 扩散泵技术[J]. 真空技术报导,1977(Z1). [12] 高学林. 积极发展真空技术加速实现四个现代化[J]. 真空技术报导,1977(6):1-9. [13] 寇斌, 袁淑霞. 油扩散泵一级喷嘴的改进[J]. 真空,1979(2). [14] 司徒尚绛. 金属油扩散泵喷口设计探讨[J]. 真空,1979(3). [15] 渡道竑二. 最近扩散泵的发展与实例[J]. 王泉清,译. 真空,1979(3):78-89. [16] 王铭朴. 扩散泵喷嘴喉部面积-公式的探讨[J]. 真空,1980(3):62-63. [17] 王铭朴,张璠,可庆英. 油蒸汽流泵设计的实践与认识[J]. 真空,1980(5):12-20,58. [18] 徐成海. 油扩散泵的现状及发展趋势[J]. 真空,1981(5):45-52. [19] 徐成海. 提高油扩散泵最大出口压强的理论分析[J]. 真空,1982(4):25-30. [20] 姚民生. 扩散泵蒸汽流的理论分析与计算[J],真空, 1983,1-12,65. [21] 徐成海. 油扩散泵工质循环过程的动力学分析[J]. 真空,1983(5):44-48. [22] 姚民生. 关于提高凸腔油扩散泵抽气性能的理论分析与计算[J]. 真空,1984(5):23-28. [23] 张璠. 油扩散泵的工况分析与结构设计[J]. 真空,1984(6):24-33,49. [24] 姚民生. 关于提高凸腔油扩散泵抽气性能的理论分析与计算[J]. 真空,1984(5):23-28. [25] 刘玉魁. 扩散泵发展史话[J]. 真空与低温,1985(3):54-60. [26] 徐成海,鲍希钦. 新型K-200A金属油扩散泵[J]. 真空,1985(3):20-25,32. [27] 陈益林,程义然,周煦. 扩散泵返油主要原因分析[J]. 真空,1986(4):10-13. [28] 徐成海,杨乃恒,姚民生,等. 五级金属油扩散泵的研制[J]. 真空,1989(3):52-57. [29] 徐成海. 能获得清洁真空的JKD-200高金属油扩散泵抽气机组[J]. 四川真空,1990(3). [30] 夏正勋. 油蒸汽流泵的返流及其对抽速和极限压力影响的探讨[J]. 真空,1991(2):19-31. [31] 徐成海. 逆流检漏仪用扩散泵的设计[J]. 真空,1991(4):32-35,61. [32] 陈奇, 龚建华, 陈益林. 扩散泵返油的Monte Carlo模拟[J]. 合肥工业大学学报(自然科学版).1991,14(3):30-36. [33] 陈益林, 陈奇. 扩散泵设计中的几个具体问题[J],真空. 1992(1):20-25. [34] 陈益林, 陈奇, 龚建华. 扩散泵喷咀内附面层的研究[J]. 真空科学与技术,1992(4):299-303. [35] 陈奇, 陈益林. 影响KT-150型扩散泵抽速因素的研究[J]. 真空,1993(2):12-15. [36] 龚建华,董兰生. 扩散泵返油率在泵口平面的分布[J]. 真空,1995(2):5-8. [37] 张国孝. 一种新型油蒸汽流泵——宽域高真空强力油扩散泵[J]. 真空,1996(5):51-52. [38] 王大庆,于冰,王超. 一种简易扩散泵封闭式加热器[J]. 分析测试技术与仪器,1997(3). [39] 于炳琪. 扩散泵加热恒功率控制仪[J]. 真空,1999(5):26-28. [40] 龚建华, 郑永. 直腔和凸腔泵抽速系数的对比研究[J]. 真空,2000(2):7-9. [41] 杨乃恒. 真空获得设备[M]. 北京冶金工业出版社, 2001. [42] 李殿东. 油扩散泵的现状及发展[J]. 真空,2002 (4): 1-6. [43] 徐成海, 王鑫, 勾颖. 从第七届国际真空展看扩散本产品的变化[J]. 真空,2004(4):30-32. [44] 达道安主编. 真空设计手册[M]. 国防工业出版社,2004. [45] 任倬. 上海市真空学会成立20周年暨第九届学术年会论文集[C].上海:上海市真空学会,2005. [46] 杨乃恒. 何氏系数的定义、表达形式及应用[J]. 真空, 2005(6):5-12. [47] 徐玉江,王莉,许艳巧,等. 新型K-800A高真空油扩散泵研制[J]. 真空,2005(6):20-22. [48] 徐成海主编. 真空工程技术[M]. 北京化学工业出版社,2006. [49] 杨乃恒. 前苏联高真空扩散泵统一系列工作的回顾[J]. 真空, 2007,1: 1-11. [50] 李殿东. 油扩散泵抽气速率与被抽气体的关系[J]. 真空,2007(2):18-21. [51] 杨乃恒,巴德纯,王晓冬等. 扩散泵的世纪回顾与发展[J]. 真空, 2008,1:1-16. [52] Thomas Giegerich, Christian Day.Conceptuation of a continuously working vacuum pump train for fusion power plants[J]. Fusion Engineering and Design. 2013,88, 2206-2209. [53] 陈邢希玥. 油扩散泵内部蒸汽射流场的数值模拟研究[D]. 沈阳东北大学, 2013. [54] 高海波. 基于扩散泵与射流泵原理的微小型真空泵的研究[D]. 上海:华东理工大学,2013. [55] 王壮,苏玉萍,张明达,等. 扩散泵和扩散喷射泵技术[J]. 真空,2014(6):15-20. [56] 王瑞. 油扩散泵结构对蒸汽射流影响的数值研究[D]. 沈阳:东北大学硕士论文, 2014. [57] 张静,王栋庆. 扩散泵返油率的控制分析[J]. 真空, 2015(1):57-59. |
| [1] | 诸国建, 沈晨, 陈建琴. 扩散泵油的制备及其成分分析研究[J]. 真空, 2019, 56(2): 22-26. |
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