真空 ›› 2019, Vol. 56 ›› Issue (5): 47-51.doi: 10.13385/j.cnki.vacuum.2019.05.09
陈海峰1, 林乐忠2
CHEN Hai-feng1, LIN Le-zhong2
摘要: Low-E玻璃镀膜线C1室,是整条生产线非常重要的真空室,它的节拍决定了整条生产线的最快节拍。本文对C1室的设计提出了一系列要求,给出了相应的设计原则,从降低设备制造成本、降低能耗、增加设备的适用性方向出发,又给出了有别于常规的特殊设计,对抽气时间、泵组配置进行了计算。按此设计制造了C1室并进行了测试,验证了特殊设计中占空块这一项设计,就可使抽气时间改变43.2%。
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