真空 ›› 2020, Vol. 57 ›› Issue (3): 54-60.doi: 10.13385/j.cnki.vacuum.2020.03.12
翟云飞1, 张世伟1, 孙坤1, 赵凡1, 张志军1, 韩进1, 张莉2, 张永炬2
ZHAI Yun-fei1, ZHANG Shi-wei1, SUN Kun1, ZHAO Fan1, ZHANG Zhi-jun1, HAN Jin1, ZHANG Li2, ZHANG Yong-ju2
摘要： 本文提出了一个描述螺杆真空泵内气体级间返流泄漏量沿程分布的简化模型,基于此模型对螺杆真空泵内的气体热力过程进行深度分析,解析计算了抽气过程的吸气、压缩、输运、反冲和排气各阶段气体热力学参数随时间的变化关系。同时,组建了专门的实验测试台,并制作了采用三段式螺杆转子、泵腔侧壁带有5个压力测试孔的专用测试样泵;通过实际测试极限真空状态下的螺杆泵内沿程气体压力,间接验证了返流泄漏模型和热力学计算的正确性。
中图分类号:
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