真空 ›› 2019, Vol. 56 ›› Issue (3): 10-15.doi: 10.13385/j.cnki.vacuum.2019.03.03
翟云飞, 张世伟, 韩峰, 赵凡, 谢元华
ZHAI Yun-fei, ZHANG Shi-wei, HAN Feng, ZHAO Fan, XIE Yuan-hua
摘要： 本文以三叶转子罗茨泵为研究对象,从其基本结构和工作原理出发,对泵内被抽气体的输运过程进行热力学分析。对被抽气体在泵内经历的过程作时序分析,将其分解为吸气、输运、反冲、排气四个阶段,详细讨论各个阶段的特点和机理。应用热力学基本原理,建模计算气体返流量,对吸气、输运、排气进行定量分析,得到被抽气体的压强、容积、总质量、总内能等热力学参数随时间变化的计算公式;探究排气功率与进出口压力之间的关系。
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