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真空 ›› 2021, Vol. 58 ›› Issue (2): 20-26.doi: 10.13385/j.cnki.vacuum.2021.02.05

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四米槽式太阳能真空集热管镀膜设备的发展概述

陈志涛   

  1. 德州金铎真空镀膜技术有限公司,山东 德州 253400
  • 收稿日期:2020-06-20 出版日期:2021-03-25 发布日期:2021-04-09
  • 作者简介:陈志涛( 1975-)男,山东德州市人,工程师。

Development of Coating Equipment for Four Meter Trough Vacuum Solar Collector

CHEN Zhi-tao   

  1. Dezhou Jinduo Vacuum Coating Technology Co., Ltd., Dezhou 253400, China
  • Received:2020-06-20 Online:2021-03-25 Published:2021-04-09

摘要: 本文主要介绍了制备四米槽式太阳能真空集热管的间歇式单体镀膜机和自动连续镀膜线,对两种类型设备的优缺点和存在的问题进行了对比分析,可以为其他行业镀膜设备的设计改进提供借鉴。

关键词: 光热发电, 槽式太阳能真空集热管, 圆柱磁控溅射靶, 平面磁控溅射靶

Abstract: This article mainly introduces the preparation of four-meter long slot solar vacuum tube-a monomer intermittent coating machine and automatically continuous coating line. We carried out the comparative analysis on the various types of equipment with emphasis on the advantages and disadvantages of the existing problems. It can provide certain reference for the development of other industries coating equipment and design improvement.

Key words: solar photovoltaic power generation, trough solar vacuum collector tube, cylindrical magnetron sputtering target, plane magnetron sputtering target

中图分类号: 

  • TB43
[1] 刘晓辉, 孙利国, 张耀明, 等. 聚光类太阳能热发电概述[J].太阳能, 2006(1): 39-41.
[2] 张耀明, 王军, 张文进, 等. 塔式与槽式太阳能热发电[J].太阳能, 2006(2): 29-32.
[3] 张文进, 刘晓辉, 徐宁, 等. 太阳能热发电的技术现状与前景[J].太阳能, 2006(4): 23-25.
[4] 王军, 孙利国, 安翠翠, 等. 槽式太阳能热发电中的聚光集热器[J].太阳能, 2007(4): 25-29.
[5] 黄鑫炎, 侯鹏, 郝梦龙, 等. 槽式太阳能热发电真空集热管技术[J].太阳能, 2009(4): 28-33.
[6] 王俊毅, 陈勇, 王军, 等. 槽式太阳能热发电中的真空集热管[J].太阳能, 2007(5): 24-28.
[7] 田广科, 苗树翻, 马天国, 等. 太阳能热发电高温(≥ 550℃)光谱选择性吸收涂层研究进展[J].太阳能, 2015(3): 50-55.
[8] 孟建平, 付志强. 太阳能选择性吸收涂层的研究进展[J].太阳能学报, 2012, 33(S1): 41-46.
[9] 朱培强, 李峰, 祝世春. 太阳能选择性吸收涂层中铝靶拐点电压的影响因素分析[J].真空, 2015, 52(5): 47-51.
[10] 关奎之. 旋转式圆柱形磁控溅射靶的磁场计算[J].真空, 1997(3): 5-11.
[11] 姜燮昌真空镀膜技术的最新进展[J].真空, 1999(5): 1-7.
[12] 陈长琦, 郭江涛, 方应翠, 等. 矩形平面磁控溅射阴极的磁场模拟及结构设计[J].真空, 2008(3): 65-69.
[13] 孙振华, 沈丽如. 提高平面磁控溅射靶材利用率方法分析[J].真空, 2016(4): 11-13.
[14] 章其初, 陈革, 孟秀青, 等. 全玻璃SS-AlN 金属陶瓷真空太阳集热管[J].真空, 2010, 47(4): 27-32.
[15] 陈志涛. 全玻璃真空集热管镀膜设备的发展[J].真空, 2020, 57(1): 35-39.
[16] 殷志强. 全玻璃真空太阳集热管[M]. 北京: 科学出版社, 1998: 110-111.
[17] MICHAEL L, ELGAT Z.Solar selective absorber coating for high service temperatures, produced by plasma sputtering[J].Optical Technoloqy for energy efficiency and Solor Energy Conversion, 1990, 1272(1): 240-249.
[18] 范崇治, 殷志强. 先进太阳选择性吸收涂层的发展[J].太阳能, 2013(17): 12-17.
[1] 丁旭, 罗文勇, 黄文俊, 伍淑坚, 余志强. 基于PCVD光纤预制棒微波系统的仿真与应用[J]. 真空, 2021, 58(2): 6-9.
[2] 吴彦超, 刘豫瑶, 刘洋, 高晟元, 黄美东. 调制比对电弧离子镀Cr/TiN纳米多层膜力学性能的影响*[J]. 真空, 2021, 58(2): 10-14.
[3] 李坤, 熊玉卿, 王虎, 张凯锋, 王兰喜, 周晖. 蒸发速率对ZnS薄膜性能的影响*[J]. 真空, 2021, 58(2): 15-19.
[4] 高鹏, 班超, 任少鹏, 金秀, 王忠连, 杨文华. 一种基于遗传算法的光学薄膜优化设计方法*[J]. 真空, 2021, 58(2): 27-30.
[5] 张以忱. 第二十一讲 真空卷绕镀膜[J]. 真空, 2021, 58(2): 86-88.
[6] 张以忱. 第二十一讲 真空卷绕镀膜[J]. 真空, 2021, 58(1): 86-88.
[7] 戴永喜, 杨倩倩, 邓金祥, 孔乐, 刘红梅, 杨凯华, 王吉有. 不同Si含量掺杂的ZTO薄膜的制备与研究[J]. 真空, 2020, 57(6): 23-26.
[8] 张以忱. 第二十一讲 真空卷绕镀膜[J]. 真空, 2020, 57(6): 84-86.
[9] 郭志帅, 费书国, 阴晓俊, 高鹏, 赵帅锋, 王银河, 宋光辉. 红外测温成像系统光学薄膜滤光片设计与镀制工艺研究[J]. 真空, 2020, 57(6): 18-22.
[10] 张以忱. 第二十讲 真空离子镀膜[J]. 真空, 2020, 57(4): 95-96.
[11] 张爽, 董闯, 马艳平, 丁万昱. 薄膜的材料特征*[J]. 真空, 2020, 57(4): 11-18.
[12] 高鹏, 金秀, 任少鹏, 王忠连, 赵帅锋, 阴晓俊. 浅谈国内外光学薄膜技术标准[J]. 真空, 2020, 57(4): 19-23.
[13] 张以忱. 第二十讲 真空离子镀膜[J]. 真空, 0, (): 94-96.
[14] 方波, 张林, 蔡飞, 张世宏. 冷作模具钢等离子渗镀CrVN复合涂层摩擦磨损性能研究*[J]. 真空, 2020, 57(2): 33-39.
[15] 刘灵云, 林松盛, 王迪, 李风, 代明江, 石倩, 韦春贝. CrAlN抗冲蚀涂层制备及性能研究*[J]. 真空, 2020, 57(2): 40-46.
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