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真空 ›› 2020, Vol. 57 ›› Issue (2): 94-96.doi: 10.13385/j.cnki.vacuum.2020.02.18

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第二十讲 真空离子镀膜

张以忱   

  1. 东北大学,辽宁 沈阳 110004
  • 出版日期:2020-03-25 发布日期:2020-04-26

  • Online:2020-03-25 Published:2020-04-26

中图分类号: 

  • O484
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